[发明专利]一种环件三坐标检具及利用其的测量方法和用途有效
| 申请号： | 201911318573.8 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN110906893B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;陈文庆;罗明浩 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00;G01B21/04;G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种环件三坐标检具，所述检具在底座上设置有与待测环件相匹配的圆形凹腔，并沿圆形凹腔的外周设置有供三坐标测量机测针伸入的凹槽；本发明提供的所述检具通过圆形凹腔实现对环件的固定，凹槽供三坐标测量机的测针伸入，从而能够测量环件的底部和侧面；本发明提供的检具结构简单、加工容易；利用该检具进行环件三坐标测量时，能够有效防止环件在测量过程中变形，保障环件的检测准确度和重复性，提高检测效率，能够很好地应用在半导体或机械加工领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环件三 坐标 利用 测量方法 用途 | ||
【主权项】：
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