[发明专利]双鼓镀膜机在审

专利信息
申请号: 201911263935.8 申请日: 2019-12-11
公开(公告)号: CN112941482A 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 祝海生;陈立;唐洪波;唐莲;薛闯;金诚明;凌云;孙桂红;梁红;黄国兴;黄乐 申请(专利权)人: 湘潭宏大真空技术股份有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 代理人: 安曼
地址: 411100 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明提供了双鼓镀膜机,包括两个第一壳体和两个第二壳体,第一壳体内形成第一腔室,第二壳体内形成第二腔室,两个第一壳体的两个第一腔室和两个第二壳体的两个第二腔室呈直线连通,两个第一腔室位于所述直线的中部,第一壳体和第二壳体上设有多个垂直安装架和多个水平安装架,基片架安装在垂直安装架或水平安装架上,垂直安装架安装在第一壳体和第二壳体的顶面和底面,水平安装架安装在第一壳体和第二壳体的相对的两个侧面上。本发明垂直安装架组件和水平安装架组件的设置可使所述镀膜机适用不同镀膜需求的基片的安装,提高了所述镀膜机对基片架的适用性,所述镀膜机结构简单、适用范围广、运行成本低。
搜索关键词: 镀膜
【主权项】:
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  • 一种清洗PVD一体化夹具,包括:T支撑筒,所述T支撑筒内侧活动放置可旋转的夹座,所述夹座一端固定连接放置筒,所述放置筒内置伸缩气缸,所述伸缩气缸的活塞杆位于夹座水平段内侧,且伸缩气缸的活塞杆固定连接适配在夹座水平段内侧的移动杆,所述移动杆位于夹座弧形槽内侧中部通过螺栓固定夹设连接柱,所述夹座的弧形槽内两侧均铰接夹块,所述夹座的弧形槽边缘设有L型卡槽,所述L型卡槽适配待清洗、覆膜的零部件,所述夹块一端位于连接柱的通孔内,另一端位于有L型卡槽处。其结构简单,夹紧待清洗、覆膜的零部件牢固,且自动化程度高,使得待清洗、覆膜的零部件完全暴露在外面,清洗、镀膜更完全。
  • 一种具有温度调节功能的蒸镀样品架-202321271960.2
  • 王凡;胡宇航;李伟;周文彬 - 昆山晟成光电科技有限公司;苏州晟成光伏设备有限公司
  • 2023-05-24 - 2023-10-20 - C23C14/50
  • 本实用新型属于蒸镀技术领域,涉及一种具有温度调节功能的蒸镀样品架,包括夹持组件、冷板组件、第一驱动杆和第二驱动杆,所述冷板组件包括冷板以及设于所述冷板上表面中部的密封连接头,所述冷板内设有回环往复的冷却液回路,所述冷却液回路的进出口均位于所述密封连接头的下投影范围内,所述第一驱动杆的下端穿过所述密封连接头与所述冷板固定,所述第一驱动杆内设有分别与所述冷却液回路的进出口对接的两个冷却液输送管。本磁性样品架冷却液通过第一驱动杆内部的冷却液输送管进入冷板,通过调节冷板相对样件的远近精确控制散热速度,保证蒸镀时的镀膜质量,密封位置设置于密封连接头处,避免渗漏。
  • 一种汽车雾灯灯罩生产镀膜装置-202321044318.0
  • 顾志成;王雅;孙正作;朱进进;陈华 - 丹阳市天舜车辆部件有限公司
  • 2023-05-05 - 2023-10-20 - C23C14/50
  • 本实用新型涉及车灯罩镀膜技术领域,且公开了一种汽车雾灯灯罩生产镀膜装置,所述镀膜机构包括镀膜箱,所述镀膜箱的内部连接有安装盘,所述安装盘的内部均匀连接有安装块,所述安装块外壁的两侧均连接有连接板,所述安装盘的内部均匀设置有安装孔,两侧所述连接板的内部均连接有螺栓,本汽车雾灯灯罩生产镀膜装置通过转动齿轮即可控制齿牙板向外移动,从而使齿牙板脱离插槽的内部,从而能够自由调节安装套的高度位置,反之即可对安装套进行固定安装,通过根据不同规格大小的车灯罩调节安装套在安装杆的高度位置,从而能够供多个车灯罩同时镀膜,既能提高镀膜箱内部的空间利用率也能提高镀膜产能。
  • 板式加热器以及加热腔-202320969400.8
  • 徐升东;徐和平 - 理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司
  • 2023-04-26 - 2023-10-20 - C23C14/50
  • 本实用新型提供板式加热器以及加热腔。所述板式加热器包括支架、依次安装在所述支架上的加热件以及辐射板,所述辐射板用于将所述加热件产生的热量辐射出去,所述辐射板包括多个辐射单元,任意两个相邻辐射单元彼此重叠,相邻辐射单元的相邻侧面在重叠区域中具有预定间隙。本实用新型能提高对载板中的硅片加热的均匀性,并能提高工艺的均匀性以及太阳能电池的转换效率。
  • 一种光学镜片镀膜用镀膜板组件-202321077581.X
  • 李小锋 - 瑞安市视尚光学眼镜科技有限公司
  • 2023-05-08 - 2023-10-20 - C23C14/50
  • 本实用新型公开了一种光学镜片镀膜用镀膜板组件,包括镀膜板和外套板,所述镀膜板外周设置在外套板内部,所述镀膜板外周设置有多个限位槽,所述镀膜板中部设置有多个固定机构;所述固定机构包括卡槽、隐藏槽、弹簧和卡块,所述卡槽开设在镀膜板中部,所述隐藏槽开设在卡槽外周。本实用新型所述的一种光学镜片镀膜用镀膜板组件,将镜片放在导引槽内部,然后向下按压镜片,使得镜片边缘挤压卡块,松手后,通过弹簧顶住卡块,从而可以很好的固定住镜片,需要拆卸镜片时,将镀膜板放在外套板内部,向下按压镀膜板,使得顶柱伸入固定机构内部,从而将镜片向上顶出,使得镜片脱离卡块的限制,可以方便的取下镜片,安装拆卸镜片十分方便。
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