[发明专利]基于刻蚀辅助机制的石墨烯玻璃制备方法在审

专利信息
申请号: 201911240697.9 申请日: 2019-12-06
公开(公告)号: CN112919822A 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 刘忠范;单俊杰;张艳锋 申请(专利权)人: 北京大学;北京石墨烯研究院
主分类号: C03C17/22 分类号: C03C17/22
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司 11438 代理人: 司丽琦;于宝庆
地址: 100871*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本公开提供一种基于刻蚀辅助机制的石墨烯玻璃制备方法及采用该方法制备的石墨烯玻璃,该方法包括:提供一玻璃基底,玻璃基底置于反应腔室;通入碳源,于玻璃基底上进行等离子体增强化学气相沉积反应生长石墨烯,得到石墨烯玻璃;其中,还包括引入含氧刻蚀剂于所述反应腔室,以刻蚀等离子体增强化学气相沉积反应中生成的无定形碳。本公开的方法可有效提高石墨烯质量;此外,该方法还具有低温快速生长优势,并能够生长大尺寸的均匀石墨烯,所得石墨烯在导电性、透光性、疏水性以及导热性等众多方面皆表现出更好的性能,工艺简单、成本低,具有良好的工业应用前景。
搜索关键词: 基于 刻蚀 辅助 机制 石墨 玻璃 制备 方法
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