[发明专利]一种制备薄膜材料的样品台和方法

摘要

本发明公开了一种制备薄膜材料的样品台和方法，通过本体；第一硅片，所述第一硅片为第一尺寸的圆形硅片，且所述第一硅片设置在所述本体的上表面；第二硅片，所述第二硅片设置在所述第一硅片的下方，且所述第二硅片为第二尺寸的圆形硅片，其中，所述第二硅片与所述第一硅片属于嵌套结构，在所述第二硅片的圆弧四周分别具有一矩形孔；限位条，所述限位条穿过所述本体与所述矩形孔相匹配，解决了现有技术中缺乏有效的原位实时监测手段，样品难以固定以配合设备运动，导致样品存在移位可能性的技术问题，达到了样品台适用于多种尺寸的样品，对不同尺寸的样品起到良好的限位和固定作用，样品能够随设备升降及旋转，实现设备的原位监测功能的技术效果。