[发明专利]一种减小偏置漂移的多轴陀螺仪在审

专利信息
申请号: 201911061254.3 申请日: 2019-11-01
公开(公告)号: CN110895145A 公开(公告)日: 2020-03-20
发明(设计)人: 森克·阿卡尔;布伦顿·罗丝·西蒙;散蒂帕·迈蒂 申请(专利权)人: 上海矽睿科技有限公司
主分类号: G01C19/56 分类号: G01C19/56
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 董科
地址: 201800 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种微机械陀螺仪,包括悬挂在附接到衬底上的至少一个锚上的动态质量块。动态质量块包括一第一质量块和一第二质量块;一第一驱动致动器,其被配置成在陀螺仪的旋转振荡模式下在第一方向上驱动第一质量块;以及一第二驱动致动器,其被配置成在陀螺仪的旋转振荡模式中以相反方向驱动第二质量块。
搜索关键词: 一种 减小 偏置 漂移 陀螺仪
【主权项】:
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  • 黄莉;储莉玲;蒋乐跃 - 美新半导体(天津)有限公司
  • 2022-12-29 - 2023-04-28 - G01C19/56
  • 本发明提供一种MEMS陀螺仪,其包括:MEMS惯性传感部分,其包括:多个轴的检测电容组;陀螺接口电路,其包括:检测电路和数字处理电路;所述检测电路包括多路复用器、检测电荷放大器、检测混频器和检测模数转换器。所述多路复用器的每组输入端与对应的一个轴的检测电容组相连,所述多路复用器的输出端与所述检测电荷放大器的输入端相连。所述多路复用器基于选通信号在连续的多个选通循环中的每个选通循环内依次选择多个轴中的每个轴的检测电容组与所述检测电荷放大器的输入端相连,每个轴的检测电容组被所述多路复用器选通预定时长。这样,多个轴复用同一个检测电路,以减小电路面积和功耗。
  • 一种微机械陀螺集成电路-202111461485.0
  • 邸昕鹏;孙俊;宋婷;张晓龙;严余超 - 上海航天控制技术研究所
  • 2021-12-02 - 2023-04-18 - G01C19/56
  • 本发明公开一种微机械陀螺集成电路,应用于微机械陀螺表头,所述微机械陀螺表头包括驱动端和检测端;所述微机械陀螺集成电路包括:驱动电路,分别与驱动端等效电路的输出端和反馈端进行连接,用于根据原始正弦激励信号得到方波驱动信号和正弦波驱动信号,以采用方波驱动信号对微机械陀螺表头进行起振以及采用正弦波驱动信号驱动起振后的微机械陀螺表头振荡;检测电路,与检测端等效电路的输出端进行连接,用于根据原始高频载波信号获取待测角速度信号,以得到微机械陀螺表头的角速度。本发明可以解决单独采用模拟方波激励和模拟正弦波激励的驱动方式都存在各自缺陷的问题以及检测电路的输出级引入大量噪声及接口电路面积较大的问题。
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