[发明专利]一种易于电极图案化的纳米银线柔性透明导电膜及其图案化方法有效
申请号: | 201911045579.2 | 申请日: | 2019-10-30 |
公开(公告)号: | CN110781600B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 吕鹏;张梓晗;姚成鹏;张运奇;聂彪 | 申请(专利权)人: | 合肥微晶材料科技有限公司 |
主分类号: | G06F30/20 | 分类号: | G06F30/20;H01B1/02;H01B5/14;G03F7/004 |
代理公司: | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人: | 卢敏 |
地址: | 230088 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种易于电极图案化的纳米银线柔性透明导电膜及其图案化方法,该导电膜是在柔性基底表面设置有纳米银线导电层,在纳米银线导电层表面通过涂布OC光阻剂形成有OC光阻剂层。本发明通过提供一种集纳米银线保护功能和抗显影液侵蚀功能于一体的OC光阻剂,以及配套的集显影OC光阻剂和刻蚀下方纳米银线功能于一体的显影刻蚀液,极大地简化了通过黄光工艺对纳米银线柔性透明导电膜进行电极图案化的工艺步骤,提高了生产效率和产品良率,非常适合面板厂进行触控屏、OLED、Micro‑LED电极图案的制作。 | ||
搜索关键词: | 一种 易于 电极 图案 纳米 柔性 透明 导电 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种易于电极图案化的纳米银线柔性透明导电膜,其特征在于:所述纳米银线柔性透明导电膜是在柔性基底表面设置有纳米银线导电层,在所述纳米银线导电层表面通过涂布OC光阻剂形成有OC光阻剂层;/n所述OC光阻剂的各组分按重量份的构成为:/n
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