[发明专利]一种磁控溅射真空镀膜机工艺气体布气装置在审

专利信息
申请号: 201910998371.6 申请日: 2019-10-21
公开(公告)号: CN110592546A 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: 刘国利;周毅;李国强 申请(专利权)人: 湖南玉丰真空科学技术有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/54
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 411100 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种磁控溅射真空镀膜机工艺气体布气装置,包括真空室体、阴极布气装置和真空室内环境布气装置,所述阴极布气装置包括护罩住阴极体及靶材的阴极外罩,阴极外罩和阴极体绝缘,阴极外罩通过供气管道与工艺气体馈入接口连接,在阴极外罩内部设有通气孔,通气孔把引入的工艺气体分成两路或多路汇合在阴极外罩一端的布气环内,在布气环朝向靶面的一侧均匀分布有多个喷气孔,所述真空室内环境布气装置包括沿真空室体内壁周边均布的多个布气管,在布气管上分布有布气孔,每个布气管单独通过供气管道与工艺气体馈入接口连接。本发明的布气装置保证了移动阴极在动态工作时工艺气体供给的稳定性、均匀性。
搜索关键词: 阴极 布气装置 外罩 工艺气体 布气管 供气管道 接口连接 室内环境 布气环 通气孔 阴极体 馈入 磁控溅射真空镀膜机 工艺气体供给 移动阴极 真空室体 布气孔 均匀性 喷气孔 真空室 靶材 多路 护罩 均布 两路 绝缘 汇合 体内 引入 保证
【主权项】:
1.一种磁控溅射真空镀膜机工艺气体布气装置,包括真空室体,其特征在于:还包括阴极布气装置和真空室内环境布气装置,所述阴极布气装置包括护罩住阴极体及靶材的阴极外罩,阴极外罩和阴极体绝缘,阴极外罩通过供气管道与工艺气体馈入接口连接,在阴极外罩内部设有通气孔,通气孔把引入的工艺气体分成两路或多路汇合在阴极外罩一端的布气环内,在布气环朝向靶面的一侧均匀分布有多个喷气孔,所述真空室内环境布气装置包括沿真空室体内壁周边均布的多个布气管,在布气管上分布有布气孔,每个布气管单独通过供气管道与工艺气体馈入接口连接。/n
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  • 崔振宇 - 东泰高科装备科技有限公司
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  • 本实用新型提供一种旋转阴极排水装置。该排水装置包括进水轴和出水轴,进水轴和出水轴相互连接,进水轴内开设有进水通道,进水通道内用于容置旋转阴极和冷却水;出水轴内开设有出水通道,出水轴内还设置有开关结构,开关结构设置在进水通道和出水通道的对接处,开关结构能控制出水通道开启和关闭,以控制冷却水从出水通道排出。该排水装置通过设置出水轴,并在出水轴内设置出水通道和开关结构,能够方便地控制出水通道的开启和关闭,从而在更换靶材时方便地控制该排水装置排水,该排水装置排水时无需进行管路拆卸,操作简便,且该排水装置结构简单,易于操作,不仅提高了旋转阴极排水装置的排水效率,而且提高了靶材的更换效率。
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