[发明专利]一种体型声波共振腔、制程及通信器件有效

专利信息
申请号: 201910985688.6 申请日: 2019-10-17
公开(公告)号: CN112688661B 公开(公告)日: 2023-05-30
发明(设计)人: 王津洲 申请(专利权)人: 芯恩(青岛)集成电路有限公司
主分类号: H03H9/56 分类号: H03H9/56;H03H9/02;H03H9/05;H03H3/02
代理公司: 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 代理人: 陈敏
地址: 266555 山东省青岛市黄岛区*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开一种体型声波共振腔、制程及通信器件,声波共振腔包括固定支撑部件、压电共振腔、衬底;包括:固定支撑部件、压电共振腔以及衬底;固定支撑部件固定在所述衬底上;压电共振腔包括从上至下依次分布的金属上电极、压电薄膜层、金属下电极;固定支撑部件包括分别支撑所述压电共振腔两端的第一固定支撑部件和第二固定支撑部件,其中第一固定支撑部件与金属上电极连接;第二固定支撑部件与金属下电极相连接。本发明将压电共振腔与其它结构隔离,以减少任何共振腔能量之消耗和转移,薄膜厚度可以精确控制共振频率;结合频率和阻抗的控制,达到高品质参数的要求。
搜索关键词: 一种 体型 声波 共振 通信 器件
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