[发明专利]静压力水辅助纳秒激光加工透明介质材料的装置及其方法有效

专利信息
申请号: 201910909131.4 申请日: 2019-09-25
公开(公告)号: CN110560891B 公开(公告)日: 2023-07-21
发明(设计)人: 黄虎;崔明明;王超;钱永峰 申请(专利权)人: 吉林大学
主分类号: B23K26/064 分类号: B23K26/064;B23K26/70
代理公司: 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 代理人: 王怡敏
地址: 130000 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明涉及一种静压力水辅助纳秒激光加工透明介质材料的装置及其方法,属于材料微细加工领域。装置由液体供压系统、液体储存与排放系统、工件夹持系统和激光加工系统组成。液体供压系统和液体储存与排放系统固定连接在激光加工系统的工作平台上,工件夹持系统固定连接在液体储存与排放系统的上部。通过耐高压注射器给水槽内的水加压,使透明介质材料与水之间产生接触面,提高透明介质材料在接触界面的激光吸收率,与此同时限制加工区域等离子体扩散,提高加工效率。优点在于:解决了透明介质对激光吸收率低的问题,提高激光加工透明介质材料的可加工性;施加的局部压力,限制等离子体扩散,可有效提高加工效率,有效降低对加工表面的污染。
搜索关键词: 静压 辅助 激光 加工 透明 介质 材料 装置 及其 方法
【主权项】:
1.一种静压力水辅助纳秒激光加工透明介质材料的装置,其特征在于:包括液体供压系统(1)、液体储存与排放系统(2)、工件夹持系统(3)和激光加工系统(4),其中,液体供压系统(1)固定连接在激光加工系统(4)的加工平台(403)上,液体储存与排放系统(2)与液体供压系统(1)连接,工件夹持系统(3)与液体储存系统(2)连接。/n
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