[发明专利]一种宽动态真空检漏装置在审
申请号: | 201910769918.5 | 申请日: | 2019-08-20 |
公开(公告)号: | CN110895179A | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | 严奉轩;王文锦;李芳;路晓川;龙希伟;赵巍仑;赵加鹏;孙喜堂;凌大鹏;陈宁;韩京 | 申请(专利权)人: | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人: | 刘芳;仇蕾安 |
地址: | 056027*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: |
本发明涉及一种宽动态真空检漏装置,属于真空检漏技术领域。本发明所述检漏装置采用QMS与阳极点火技术联动的方式,在高精度控制回路的配合下,能够实现10 |
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搜索关键词: | 一种 动态 真空 检漏 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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