[发明专利]针对光学源中的干扰的补偿有效
| 申请号： | 201910744324.9 | 申请日： | 2015-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN110441995B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | R·阿拉瓦特 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 接收从光学源发射的脉冲光束，脉冲光束与时间重复率相关联；确定光学源中的干扰的频率，频率是随着脉冲光束的时间重复率变化的混叠频率；基于混叠频率生成校正波形；以及通过基于生成的校正波形修改脉冲光束的特性来补偿光学源中的干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 针对 光学 中的 干扰 补偿 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：确定脉冲光束的第一波长误差，所述第一波长误差基于与所述脉冲光束相关联的中心波长和所述脉冲光束的第一多个脉冲的实际波长；确定与光学源中的干扰相关联的频率，所确定的频率是混叠频率；将校正应用于所述脉冲光束，所述校正基于所述混叠频率；以及确定所述脉冲光束的第二波长误差，所述第二波长误差基于所述中心波长和所述脉冲光束的第二多个脉冲的实际波长，所述第二多个脉冲发生在所述校正被应用于所述脉冲光束之后，其中所述第二波长误差的变化小于所述第一波长误差的变化，或者所述第二波长误差中的至少一个第二波长误差小于所述第一波长误差中的所有第一波长误差。
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