[发明专利]多条带微窄带滤光片阵列光谱成像芯片及其实现方法有效
| 申请号： | 201910577015.7 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110375852B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 鱼卫星;武登山;郭权;高博;王帅;胡炳樑 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 王少文 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光谱成像芯片，具体涉及一种多条带微窄带滤光片阵列光谱成像芯片及其实现方法；解决了现有光谱仪体积大、稳定性及可靠性差、成本高的技术问题，本发明提供了一种多条带微窄带滤光片阵列光谱成像芯片及其实现方法。一种多条带微窄带滤光片阵列光谱成像芯片，其特殊之处在于：包括殷钢转接板和面阵探测器，殷钢转接板具有凹槽结构，面阵探测器的位置对应于所述凹槽；凹槽内由下至上依次设置微透镜阵列组件、多条带微窄带滤光分光组件和面阵探测器；多条带微窄带滤光分光组件的下表面粘接所述微透镜阵列；多条带微窄带滤光分光组件的上表面粘接所述面阵探测器。 | ||
| 搜索关键词： | 条带 窄带 滤光 阵列 光谱 成像 芯片 及其 实现 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多条带微窄带滤光片阵列光谱成像芯片，其特征在于：包括殷钢转接板(1)和面阵探测器(2)，殷钢转接板(1)具有凹槽结构，面阵探测器(2)的位置对应于所述凹槽；凹槽内由下至上依次设置微透镜阵列组件(4)、多条带微窄带滤光分光组件(3)和面阵探测器(2)；所述多条带微窄带滤光分光组件(3)的下表面粘接所述微透镜阵列(4)；所述多条带微窄带滤光分光组件(3)的上表面粘接所述面阵探测器(2)；所述殷钢转接板(1)的凹槽内壁和所述多条带微窄带滤光分光组件(3)外侧面处及所述殷钢转接板(1)的凹槽底面和所述多条带微窄带滤光分光组件(3)的下表面处的间隙内填充环氧树脂胶(5)；所述多条带微窄带滤光分光组件(3)包括粘接母板(302)和粘覆在所述粘接母板(302)上的多条带微窄带滤光片阵列；所述多条带微窄带滤光片阵列包括依次并排拼接的多个不同波段的微窄带滤光片(301)；所述微透镜阵列组件(4)包括间隔器(2)和并排粘接在所述间隔器(2)上表面的多个微透镜(401)；所述微透镜(401)的数量与所述微窄带滤光片(301)的数量相同；所述间隔器(2)的厚度等于所述微透镜(401)的焦距；所述多条带微窄带滤光分光组件(3)的下表面与所述殷钢转接板(1)的凹槽底面之间的间隙值等于所述间隔器(2)的厚度；每个所述微透镜的焦面和对应的所述微窄带滤光片(301)的镀膜面重合，且对准精度为±3μm；所述殷钢转接板(1)的凹槽底部开设与所述微透镜阵列(4)的外形相适配的窗口(101)；所述窗口(1)的径向尺寸大于所述微透镜阵列(4)的径向尺寸；所述殷钢转接板(1)的侧壁上均设置注胶孔(101)。
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