[发明专利]一种金刚石输能窗及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910544986.1 申请日: 2019-06-21
公开(公告)号: CN110335798B 公开(公告)日: 2021-01-19
发明(设计)人: 吴胜利;阮坤;胡文波;王康;王宏兴;张劲涛 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: H01J23/36 分类号: H01J23/36;H01J9/00
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 安彦彦
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开一种金刚石输能窗及其制备方法,金刚石输能窗包括上、下金属片、金刚石圆片及中间层。该结构对应的制备方法,包括:对上金属片、下金属片和金刚石圆片表面进行化学机械抛光处理、清洗;在金刚石圆片表面的窗口区域制作掩膜;对上金属片、下金属片和金刚石圆片表面进行反溅射;在上、下金属片和金刚石圆片表面沉积中间层材料;去除镀膜后的金刚石圆片表面的掩膜;利用热压键合使溅射有中间层材料的上金属片、下金属片和金刚石圆片紧密结合,得到金刚石输能窗。此外,在超高真空下使用表面激活键合的方法,可得到无中间层的金刚石输能窗。本发明解决了在制备金刚石表面金属化、焊接困难以及可能发生金刚石产生裂纹或断裂的问题。
搜索关键词: 一种 金刚石 输能窗 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种金刚石输能窗的制备方法,其特征在于,包含如下步骤:S1,对上金属片(1)、金刚石圆片(2)和下金属片(3)进行反溅射,使得表面激活;再在上金属片(1)、金刚石圆片(2)和下金属片(3)表面镀上中间层(4);S2,将上金属片(1)和下金属片(3)装配于金刚石圆片(2)两侧,得到装配体;S3,将所述装配体进行热压键合,得到金刚石输能窗。
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  • 本发明公开了一种同轴相对论速调管扩展互作用输出腔,目的是解决低功率容量问题。本发明由反射腔内导体、反射腔外导体、提取间隙内导体、两个提取间隙外导体、收集极内导体、收集极外导体、输出圆波导构成。反射腔内导体与反射腔外导体同轴嵌套,反射腔内导体外表面上的内侧反射槽和反射腔外导体内表面上的外侧反射槽组成反射腔。提取间隙内导体外表面上的提取槽、膜片与两个提取间隙外导体和内表面上的提取槽、膜片、支撑杆共同组成扩展互作用提取间隙。收集极内导体外表面和收集极外导体内表面上的梯形收集槽组成收集极。反射腔、扩展互作用提取间隙、收集极和输出通道组成本发明的工作通道。本发明能显著提升输出腔的功率容量。
  • 一种耦合腔行波管输能结构及其装配方法-201910921377.3
  • 黄万超;季大习;朱玲 - 南京三乐集团有限公司
  • 2019-09-27 - 2022-03-25 - H01J23/36
  • 本发明公开了一种耦合腔行波管输能结构及装配方法,它包括:内导体(1),焊接在内导体(1)外的窗瓷(2),焊接在窗瓷(2)下端的封接环(3)、焊接在封接环(3)下端的外导体(5),套在封接环(3)和外导体(5)外的固紧螺套(4);内导体(1)的下端穿过窗瓷(2)、封接环(3)和外导体(5)后插入在波导盖板(12)开设的天线槽内,天线槽中放置有圆天线(11),内导体(1)的下端穿过圆天线(11)后固定在天线槽内;外导体(5)下端与阻抗变换器(7)接触面沿圆周一圈铆紧后,与阻抗变换器(7)焊接。本发明结构气密性良好、可靠性高,焊接前后冷驻波比变化较小,可有效保证行波管对驻波比的使用要求。
  • 一种宽带回旋行波管高频结构-202010633312.1
  • 罗勇;赵歌歌;鄢然;姚叶雷;王建勋;刘国;王丽;蒲友雷;蒋伟;吴泽威;徐勇;马春光 - 电子科技大学
  • 2020-07-02 - 2022-03-15 - H01J23/36
  • 本发明属于毫米波和太赫兹技术领域,具体提供一种宽带回旋行波管高频结构,应用于毫米波及太赫兹频段回旋行波管高频系统设计。本发明宽带回旋行波管高频结构采用非线性渐变的“喇叭”口径波导结构,并设计得到非线性渐变的“喇叭”口径波导沿传播方向的轮廓分布;采用本发明高频结构突破了传统结构的相对带宽7%的限制,可满足不同带宽需求的自由设计,带内各频点均可高效率互作用换能;同时本发明中非线性渐变的“喇叭”口径波导结构的设计过程中,突破了基于经验模型不断“试错”和优化迭代的“黑箱”设计方法,可通过给定宽带因子自动生成,大大缩减设计时间与计算成本。
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