[发明专利]一种基于蓝宝石与光纤插芯键合的光纤传感器及制备方法有效
申请号: | 201910395635.9 | 申请日: | 2019-05-13 |
公开(公告)号: | CN110160570B | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 庞拂飞;黄蕾霖;刘奂奂;陈娜;王廷云;王之凤;陈锦涛;肖磊 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | G01D5/353 | 分类号: | G01D5/353;G01K11/32;G01L1/24 |
代理公司: | 贵州派腾知识产权代理有限公司 52114 | 代理人: | 谷庆红 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种基于蓝宝石与光纤插芯键合的光纤传感器的制备方法,所述光纤传感器包括光纤插芯、单晶蓝宝石传感单元,在制备时,单晶蓝宝石传感单元和光纤插芯之间通过高温键合使界面材料扩散键合连接而得。本发明基于原子扩散原理的直接键合方法,单晶蓝宝石传感单元和光纤插芯之间通过高温高压下发生界面材料扩散键合连接而得,使得光纤插芯与单晶蓝宝石传感单元之间能够实现稳定连接传感,避免了热膨胀系数不匹配的问题,键合界面在高温环境下稳定性高,可以实现光纤与蓝宝石传感单元的高精度对准封装。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 蓝宝石 光纤 插芯键合 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于蓝宝石与光纤插芯键合的光纤传感器,其特征在于:所述光纤传感器包括光纤插芯(1)、单晶蓝宝石传感单元(2),在制备时,单晶蓝宝石传感单元(2)和光纤插芯(1)之间通过高温键合使界面材料扩散键合连接而得;所述单晶蓝宝石传感单元(2)为单片单晶蓝宝石传感单元构成法‑珀腔温度传感单元、多片单晶蓝宝石传感单元构成法‑珀腔压力传感单元中的一种。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海大学,未经上海大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910395635.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。