[发明专利]一种透明平行平板的缺陷检测方法

摘要

本发明公开了一种非接触式的透明平行平板缺陷检测方法，包括光源装置、空间光调制器、待测样品、偏振CCD相机、计算机以及支持装置。检测步骤为：①在实施装置中无待测样品时，偏振CCD相机获取初始偏振图像；②在待测样品的位置处放置分辨率板，调焦至清晰位置；③将待测样品放置在空间光调制器和偏振CCD相机之间，采集待测样品的实时偏振图像；④根据初始偏振图像与实时偏振图像差分来确定待测样品的边缘；⑤利用改进圆心定位算法方法确定差分图像中的圆心位置；⑥基于偏振图像灰度的一阶差分来确定缺陷边缘点坐标；⑦求取偏振图像中缺陷区域的面积并设定面积阈值，判别该区域是否属缺陷区域。本发明提出了一种准确、高效的缺陷检测方法。

主权项

1.一种透明平行平板的缺陷检测方法，其步骤包括：(1)在检测装置中无待测样品的情况下，转动空间光调制器直至计算机获取消光偏振图像，偏振CCD相机获取初始偏振图像保存至计算机。(2)在待测样品的位置处放置分辨率板，调焦至清晰位置，调节支持装置工作距离，根据实验条件来确定相机至待测样品的距离、焦距、放大倍数以及曝光时间。(3)把待测样品放置在空间光调制器和偏振CCD相机之间，此时采集待测样品的实时偏振图像，实时偏振图像缺陷处灰度值变化不同于背景灰度值。(4)根据初始偏振图像与实时偏振图像做差分来确定待测样品的边缘，将两幅偏振图像每个像元相减后得到的差值取绝对值。(5)利用改进圆心定位算法来提取差分偏振图像的边缘轮廓。(6)基于偏振图像灰度的一阶差分算子确定偏振图像的边缘点。(7)获取偏振图像的缺陷区域面积并设定面积阈值，根据面积阈值判定标记区域是否属于透明平行平板的缺陷区域。