[发明专利]一种镧、钛共掺的铁酸铋薄膜及其制备方法

摘要

本发明属于无机功能薄膜材料技术领域，具体涉及一种镧、钛共掺的铁酸铋薄膜及其制备方法。采用溶胶‑凝胶和结合层层退火工艺的制备了镧、钛共掺的铁酸铋薄膜Bi（1+Z）(1–Y)LaYFe1‑XTiXO3（BLTO），即个元素的比例分别为Bi:La:Fe:Ti:O=（1+Z）(1–Y):Y:(1‑X):X:3，该薄膜共N层8≤N≤12，每层厚度为100nm‑130nm；使用该制备方法，可获得稳定、均匀的前驱体溶液，配合该层层退火工艺，制备的薄膜具有较低的漏电流，高剩余极化强度。

主权项

1.一种镧、钛共掺的铁酸铋薄膜，其特征在于：采用溶胶‑凝胶和结合层层退火工艺的制备了镧、钛共掺的铁酸铋薄膜Bi_{（1+Z）(1 –Y)}La_YFe_1‑XTi_XO₃，即个元素的比例分别为Bi:La:Fe:Ti:O=（1+Z）(1 –Y):Y:(1‑X):X:3，该薄膜共N层8≤N≤12，每层厚度为100nm‑130nm；本发明中铋源、镧源、铁源、钛源分别为硝酸铋、硝酸镧、硝酸铁、钛酸四丁酯，其中X为Ti元素的摩尔当量0.01≤X≤0.12，Y为La元素的摩尔当量0.01≤Y≤0.10，元素Bi过量加入，Z为Bi以重量计的过量百分数，第一层至第三层中Z为11%‑13%，第四层至第N‑3层中Z为3%‑5%，第N‑2层至第N层中Z为9%‑11%。