[发明专利]真空干燥设备在审
| 申请号： | 201910326774.6 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN110116559A | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 李文杰;井口真介 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种真空干燥设备，所述真空干燥设备包含：一腔体、一载台、一多孔整流板、一多孔温度调节装置及一气体抽取装置。所述真空干燥设备主要是通过多孔整流板及多孔温度调节装置来调整抽气时的气流变化及温度变化，进而使经喷墨打印的基板上的喷墨膜面在经过真空干燥后具备优良膜面均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空干燥设备 温度调节装置 多孔整流板 气体抽取装置 膜面均匀性 喷墨打印 气流变化 抽气 基板 膜面 载台 | ||
【主权项】：
1.一种真空干燥设备，其特征在于：所述真空干燥设备包含：一腔体，具有一容置空间；一载台，设在所述容置空间内；一多孔整流板，设在所述容置空间内且位在所述载台的上方，其中所述多孔整流板的一下表面面对所述载台，以及所述多孔整流板包含从中心朝外部减少的一孔分布密度；一多孔温度调节装置，设在所述容置空间内且接触所述多孔整流板的一上表面；及一气体抽取装置，设在所述多孔温度调节装置的上方且连通所述腔体的容置空间。
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