[发明专利]一种三波段激光增透膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201910297056.0 | 申请日： | 2019-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN109991691A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 李全民;陈佳佳;朱敏;吴玉堂;王国力 | 申请（专利权）人： | 南京波长光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115;C23C14/54;C23C14/24;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 211121 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三波段激光增透膜及其制备方法，三波段激光增透膜，包括基底层，基底层上依次沉积有复合层和MgF2层；复合层包括交替沉积的YF3层和ZnSe层，其中，基底层与YF3层相接，MgF2层与ZnSe层相接。本发明三波段激光增透膜，650nm波段的单面反射率≤1％、1570nm波段的单面反射率≤0.25％，10.6μm波段的单面反射率<0.25％，满足了多波长激光加工设备光学系统的使用要求，光学性能优良，且膜层附着力强，耐摩擦性强，耐水性和耐温性好，既有良好的光谱性能又有较好的机械稳性能和稳定性；制备重复性好，过程简单易操作、易控制。 | ||
| 搜索关键词： | 波段激光 增透膜 单面反射率 基底层 波段 制备 复合层 多波长激光加工 膜层附着力 光学系统 光学性能 交替沉积 耐摩擦性 耐水性 耐温性 光谱 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种三波段激光增透膜，其特征在于：包括基底层，基底层上依次沉积有复合层和MgF2层；复合层包括交替沉积的YF3层和ZnSe层，其中，基底层与YF3层相接，MgF2层与ZnSe层相接。
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