[发明专利]一种复杂构型纳米马达的制备方法在审
申请号: | 201910268940.1 | 申请日: | 2019-04-04 |
公开(公告)号: | CN110002397A | 公开(公告)日: | 2019-07-12 |
发明(设计)人: | 芦小龙;沈晖;赵康东;王志文 | 申请(专利权)人: | 南京航空航天大学 |
主分类号: | B82Y30/00 | 分类号: | B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 贺翔 |
地址: | 210016 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种复杂构型纳米马达的制备方法,属于纳米技术领域,运用超声作为辅助制备手段,驱动板振动引起液体的流动,在特定的阵列结构附近产生局部流场,捕获附近的球体,围绕阵列结构进行装配,所制备的纳米马达的结构主要取决于微尺度阵列结构,阵列结构采用光刻技术加工,具有精准度高、加工便捷和结构稳定的特点,并且可以根据纳米球体材质和工作模式的要求,开展定制化设计。 | ||
搜索关键词: | 阵列结构 制备 马达 复杂构型 纳米技术领域 工作模式 光刻技术 结构稳定 局部流场 纳米球体 定制化 精准度 驱动板 微尺度 球体 超声 捕获 加工 装配 流动 | ||
【主权项】:
1.一种复杂构型纳米马达的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)以驱动板作为基板,将光刻胶在驱动板上进行匀胶处理,运用光刻技术进行微尺度阵列结构的加工,在驱动板的一端粘结换能器,得到声操控平台;(2)将含有纳米球体的悬浮液铺展在步骤(1)得到的声操控平台上,形成单层的球体结构;(3)引入超声场,纳米球体在声流作用下被所述微尺度阵列结构捕获并围绕着所述微尺度阵列结构进行装配,形成特定的复杂结构体;(4)静置至悬浮液蒸发后,在步骤(3)形成的复杂结构体上磁控溅射分子膜;(5)将复杂构型纳米马达和声操控平台进行分离得到复杂构型纳米马达。
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