[发明专利]清洁装置、清洁系统及清洁方法

摘要

本发明公开了一种清洁装置、清洁系统及清洁方法，将元件放置在清理口处，开启鼓气机，此时，气体从鼓气机中进入喷气件的进气口中，再通过喷气件的喷气口进入清理口中，如此，在鼓气机与喷气件的吹扫下，元件表面上的灰尘或者杂物被有效吹起，被吹起的灰尘或者杂物中，一部分在气流的带动下飞离操作台而被彻底清理，然而，另一部分则悬浮在元件上方，待鼓气机停止工作时，这部分灰尘或者杂物会重新吸附在元件表面上，因此，本清洁装置通过吸气机，使得操作台上的清理口处形成负压，从而使得悬浮在元件上方的灰尘或者杂物强行从清理口处吸入，有效避免灰尘或者杂物重新吸附在元件表面，进而有利于保证元件表面清洁无尘。

主权项

1.一种清洁装置，其特征在于，包括：操作台，所述操作台上设有清理口，所述操作台位于所述清理口处用于放置元件；喷气件与鼓气机，所述喷气件上设进气口与喷气口，所述进气口与所述鼓气机的输出端连通设置，所述喷气口与所述清理口相对设置，所述喷气口用于将气体从所述清理口处喷出；及吸气机，所述吸气机的输出端与所述清理口相对设置，所述吸气机用于将所述气体从所述清理口处吸入。