[发明专利]MEMS模块有效

专利信息
申请号: 201910179629.X 申请日: 2019-02-28
公开(公告)号: CN110225441B 公开(公告)日: 2022-02-25
发明(设计)人: M·菲尔德纳;N·德米勒里;B·戈勒;U·克伦拜恩;G·洛宁格;G·托索里尼;A·韦斯鲍尔 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H04R19/04 分类号: H04R19/04
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 郑立柱;张鹏
地址: 德国诺伊*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本申请涉及一种MEMS模块(100)。该MEMS模块包括:具有内部容积(V)的壳体(130),其中壳体(130)具有朝内部容积(V)的声音开口(132);壳体(130)中与声音开口(132)相邻的MEMS组件(110);以及层元件(138),该层元件(138)至少局部地布置在壳体(130)的面向内部容积(V)的表面区域(134‑1、136‑1)处,其中层元件(138)具有层材料,该层材料比层元件(138)相邻的壳体(130)的壳体材料具有更低的热导率,并且可选地具有更高的热容量。
搜索关键词: mems 模块
【主权项】:
1.一种MEMS模块(100),包括:壳体(130),具有内部容积(V),所述壳体(130)中的MEMS组件(110),和层元件(138),至少局部地布置在所述壳体(130)的面向所述内部容积(V)的表面(134‑1、136‑1)处,其中,所述层元件(138)具有层材料,所述层材料比所述层元件(138)相邻的所述壳体(130)的壳体材料具有更低的热导率。
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  • 丝山寿毅;叶肇;内田雄喜;吉田拓马;大尾光明;堀本恭弘 - MMI半导体有限公司
  • 2023-03-24 - 2023-09-26 - H04R19/04
  • 本发明提供一种MEMS麦克风,其在抑制MEMS麦克风的电路规模的增大的同时,生成相位反转的差动信号。MEMS麦克风具有:具有导电性的振动膜;第一可变电容器,其具有与振动膜对置的第一固定电极,且静电电容根据振动膜的振动而变化;第二可变电容器,其具有与振动膜对置的第二固定电极,且静电电容根据振动膜的振动而变化;第一电压输出部,其输出根据第一可变电容器的静电电容的变化而变化的第一电压;以及第二电压输出部,其输出根据第二可变电容器的静电电容的变化而变化的第二电压,对第一固定电极施加第一偏置电压,对第二固定电极施加基准电压,对振动膜施加第二偏置电压,该第二偏置电压与基准电压之差为第一偏置电压与基准电压之差的一半。
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