[发明专利]一种刻蚀设备及刻蚀方法在审

专利信息
申请号: 201910172934.6 申请日: 2019-03-07
公开(公告)号: CN111668081A 公开(公告)日: 2020-09-15
发明(设计)人: 朱本均 申请(专利权)人: 芯恩(青岛)集成电路有限公司
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20;H01J37/30;H01J37/305;H01J37/32;H01L21/67
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 刘星
地址: 266000 山东省青岛市*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明提供一种刻蚀设备及刻蚀方法,该刻蚀设备包括等离子体发生器、匀流盘、遮挡板组件及晶圆移动组件,其中,遮挡板组件可开合地设置于等离子体发生器与所述匀流盘之间,当遮挡板组件开启时,形成一窗口以暴露出匀流盘的一部分,以容许等离子体通过窗口到达匀流盘;晶圆移动组件设置于所述流盘下方,用于承载待刻蚀晶圆并带动待刻蚀晶圆移动,使晶圆的待刻蚀区域按照预设路径经过匀流盘被窗口暴露的部分的下方区域,并被通过匀流盘的等离子体刻蚀。本发明可以提高刻蚀均匀性,也能够在一定程度上减少备件成本和设备维护工作量,并降低射频功耗。
搜索关键词: 一种 刻蚀 设备 方法
【主权项】:
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  • 本实用新型公开了一种氧化铝陶瓷部件,包括基座,还包括吸附机构,所述基座表面设置有吸附固定晶圆位置的吸附机构,所述吸附机构包括介电板层、螺纹孔、螺纹柱和加热垫层,基座表面可拆卸连接有固定晶圆位置的介电板层,基座表面顶部中心位置开设有螺纹孔,介电板层表面底部一体成型有与螺纹孔位置对应的螺纹柱,组装时先垫上加热垫层,随后将螺纹柱对齐螺纹孔并拧入,即可将介电板层与基座之间安装固定在一起,完成静电吸盘的组装,需要时可以顺着螺纹孔拧动介电板层即可将其拆卸,安拆便利,方便更换,可以满足不同的使用情况和需求。
  • 一种用于离子研磨仪的挡板支架系统-202320334036.8
  • 李滔 - 广州领拓仪器科技有限公司
  • 2023-02-28 - 2023-08-15 - H01J37/20
  • 本实用新型公开了一种用于离子研磨仪的挡板支架系统,包括离子束,位于离子束运动方向上的挡板,其特征在于,所述挡板背向离子束的侧面用于和样品固定连接,且挡板和样品之间紧贴不留空隙。例如通过选用合适的液体胶将样品粘贴在挡板上,液体胶固化后挡板和样品呈一体化状态,中间不留缝隙。离子束加工时离子不会向挡板与样品间的孔隙渗漏,从而可以取的更好的加工效果,且加工效率更高。即使在样品表面过于粗糙或是样品在低温下有严重的收缩性的情况下,样品和挡板之间都不会产生缝隙和孔洞,从而可以有效的利用氩离子束能量并获得高质量的加工面。
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