[发明专利]一种具有高空间分辨率的柔性薄膜热电偶温度传感器在审
| 申请号： | 201910161565.0 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN109781287A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 田边;汪存峰;张仲恺;蒋庄德;史鹏;王伟超 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有高空间分辨率的柔性薄膜热电偶温度传感器，包括柔性绝缘基底以及依次沉积于柔性绝缘基底表面的正极热电偶薄膜阵列及负极热电偶薄膜阵列，其中，正极热电偶薄膜阵列与负极热电偶薄膜阵列之间存在多个重叠区域，正极热电偶薄膜阵列与负极热电偶薄膜阵列的重叠区域组成热节点，柔性绝缘基底的表面分为敏感区域及非敏感区域，各热节点位于敏感区域内，正极热电偶薄膜阵列中各正极热电偶薄膜的端部及负极热电偶薄膜阵列中各负极热电偶薄膜的端部均连接有冷端，且各冷端位于非敏感区域内，该传感器能够在不增加传感器数量的情况下，实现多个待测点温度的准确测量，并且结构简单、可靠耐用、成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 热电偶薄膜 正极 负极 热电偶温度传感器 高空间分辨率 非敏感区域 敏感区域 柔性薄膜 重叠区域 传感器 热节点 基底 冷端 绝缘 绝缘基底表面 准确测量 待测点 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种具有高空间分辨率的柔性薄膜热电偶温度传感器，其特征在于，包括柔性绝缘基底(1)以及依次沉积于柔性绝缘基底(1)表面的正极热电偶薄膜阵列(2)及负极热电偶薄膜阵列(3)，其中，正极热电偶薄膜阵列(2)与负极热电偶薄膜阵列(3)之间存在多个重叠区域，正极热电偶薄膜阵列(2)与负极热电偶薄膜阵列(3)的重叠区域组成热节点(4)，柔性绝缘基底(1)的表面分为敏感区域(5)及非敏感区域，各热节点(4)位于敏感区域(5)内，正极热电偶薄膜阵列(2)中各正极热电偶薄膜的端部及负极热电偶薄膜阵列(3)中各负极热电偶薄膜的端部均连接有冷端(6)，且各冷端(6)位于非敏感区域内。
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