[发明专利]一种可以直接剥离的LED管芯电极掩模图形的制作方法在审

专利信息
申请号: 201910085347.3 申请日: 2019-01-29
公开(公告)号: CN111487845A 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 徐晓强;张兆喜;吴向龙;闫宝华;王成新 申请(专利权)人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
主分类号: G03F7/095 分类号: G03F7/095;G03F7/11;G03F7/16;H01L21/027;H01L33/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 261061 *** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种可以直接剥离的LED管芯电极掩模图形的制作方法,通过在LED晶体上制备两层由负性光刻胶构成的胶膜层以及设置在第一胶膜层与第二胶膜层之间的填充层,来得到适合金属电极掩模图形的制作,第一胶膜层和第二胶膜层的厚度较薄,仅仅使用较少的光刻胶制作出了达到较厚需要的掩模图形,使得到金属电极图形在完整的前提下又可以进行直接撕金剥离,不需要作出额外处理。适当厚度的两层光刻胶和二氧化硅层的配合能够完成必须使用厚胶才能制作出的金属电极掩模图形来直接剥离的效果。第一胶膜层、填充层、第二胶膜层依次制成后再进行电极掩膜图形的制备,这样可以减少两次光刻步骤,使整个过程简单易行,成本较低。
搜索关键词: 一种 可以 直接 剥离 led 管芯 电极 图形 制作方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东浪潮华光光电子股份有限公司,未经山东浪潮华光光电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910085347.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利
  • 双层电子束胶、剥离二维材料层上的电子束胶的方法-202310362171.8
  • 金智;李继超;彭松昂;王婷;彭学阳 - 中国科学院微电子研究所
  • 2023-04-06 - 2023-07-25 - G03F7/095
  • 本发明涉及一种用于二维材料层的双层电子束胶,其使用MMA作为双层电子束胶的底层胶,并使用PMMA A4作为双层电子束胶的顶层胶,由于MMA能够很好地溶于剥离溶液,因而能够使其上方的顶层胶一起从二维材料层上完全剥离,避免了残留胶体的出现,从而解决了现有技术中单层胶无法彻底剥离的问题,并且由于使用了PMMA作为顶层胶,因此还能够使电子束胶具有优异的曝光性能。此外,本发明还涉及一种剥离二维材料层上的电子束胶的方法,其采用的两种电子束胶均可在显影液中显影,且去胶过程可于相同步骤中同时进行,降低了剥离工艺难度,提高了剥离成品率,具有流程简单、重复性好等优点。
  • 贮存稳定性得到改善的柔性版印刷板-201880026334.2
  • 埃里克·李;乔艾布·布卡夫塔内 - 麦克德米德图像方案股份有限公司
  • 2018-05-08 - 2023-07-21 - G03F7/095
  • 本发明公开了一种制备包括多个凸纹印刷点的凸纹图像印刷元件的方法。该方法包括以下步骤:(a)提供设置在基板上的至少一个可光致固化的层,该至少一个可光致固化的层能够在暴露在光化辐射下时选择性地交联并固化;(b)以成像方式使该至少一个可光致固化的层暴露在光化辐射下,以选择性地交联和固化该至少一个可光致固化层的一些部分;以及(c)对该凸纹图像印刷元件进行显影,用于分离和移除该至少一个可光致固化层的未交联且未固化的部分以显露其中的该凸纹图像。该至少一个可光致固化的层包含(i)烯键式不饱和单体;(ii)粘结剂;以及(iii)光引发剂,该光引发剂在365nm波长下呈现出大于0.05的引发量子产率(Qi)。该基板在365nm至450nm的波长范围内具有0.5至5的光密度,但优选在该365nm至450nm的波长范围内允许透射0.1%至10%的入射光。
  • 印刷版用感光性树脂结构体及其制造方法-201880048446.8
  • 田端修作;松本政树;市桥亮 - 旭化成株式会社
  • 2018-07-20 - 2023-07-11 - G03F7/095
  • 一种印刷版用感光性树脂结构体,其具有:支撑体(A);感光性树脂组合物层(B),其含有包含单乙烯基取代芳香族烃和共轭二烯的热塑性弹性体(B‑1)、烯属不饱和化合物(B‑2)以及光聚合引发剂(B‑3);以及能够通过红外线而烧蚀的非红外线遮蔽层(C),前述非红外线遮蔽层(C)含有分子内具有羧酸基团和酯键基团的聚合物(C‑2)以及红外线吸收剂(C‑3),前述聚合物(C‑2)中含有的全部酯键基团中,键合于该酯键基团的碳与键合于羧酸基团的碳相邻的酯键基团的比例为15%以上。
  • 白色感光覆盖膜及在mini LED显示模块领域的应用-202310307532.9
  • 高原;鲍亚童;童荣柏 - 杭州福斯特电子材料有限公司
  • 2023-03-27 - 2023-06-23 - G03F7/095
  • 本发明提供了一种白色感光覆盖膜及在mini LED显示模块领域的应用。白色感光覆盖膜包括:载体层和感光层,感光层包括第一感光层和第二感光层,第一感光层靠近载体层设置,第一感光层由第一组合物固化形成,第二感光层由第二组合物固化形成,第一组合物包括第一白色颜料和第一光引发剂,第二组合物包括第二白色颜料和第二光引发剂,且第一白色颜料的重量百分含量多于第二白色颜料的重量百分含量,第一光引发剂的重量百分含量少于第二光引发剂的重量百分含量。通过设置第一感光层和第二感光层可以有效提高产品的反射率,同时又不降低附着力。
  • 层叠体、转印膜、图案形成方法、电路板的制造方法-202210609332.4
  • 藤本进二 - 富士胶片株式会社
  • 2022-05-31 - 2022-12-30 - G03F7/095
  • 本发明提供一种可抑制曝光雾化的层叠体。并且,提供一种转印膜、图案形成方法及电路板的制造方法。上述层叠体依次具有第1组合物层、第1透明导电层、透明基材、第2透明导电层及第2组合物层,其中,上述第1组合物层至少包含第1感光性层,上述第2组合物层至少包含第2感光性层,上述层叠体的JIS‑K‑7136中规定的雾度值为0.5%以上。
  • 柔性印刷版-202080059551.9
  • 芳本和也;肥后衣里;中森雅彦 - 东洋纺株式会社
  • 2020-07-01 - 2022-04-01 - G03F7/095
  • 本申请提供一种降低淡出部中的微小网点的网点扩大、提高印刷性的柔性印刷版。一种柔性印刷版,其特征在于,是由至少依次层叠有支撑体(A)、感光性树脂层(B)和热敏掩模层(C)而成的柔性印刷原版得到的柔性印刷版,在印刷版上由175线形成直径16μm的网点时,网点直到0.2N的载荷时不显示弯曲。柔性印刷版优选在印刷版上由175线形成直径16μm的网点时,网点的肩角为105~125°、网点深度为70~85μm。
  • 用于光刻的组合物和方法-201410310502.4
  • M·K·噶拉格尔;D·王 - 罗门哈斯电子材料有限公司
  • 2007-03-12 - 2022-03-25 - G03F7/095
  • 本发明提供了一种涂敷过的基片和一种处理光刻胶组合物的方法。所述涂敷过的基片包括:位于基片上的光刻胶组合物层;位于该光刻胶层上面的有机组合物,该有机组合物包含含有一种或多种亲水基团的共聚物树脂;所述处理光刻胶组合物的方法包括:(a)在基片上施涂光刻胶组合物;(b)在所述光刻胶组合物上面施涂有机组合物,该有机组合物包含含有一种或多种亲水基团的共聚物树脂;(c)将所述光刻胶层曝光于辐射,活化光刻胶组合物。
  • 转印材料及其制造方法、层叠体及其制造方法-201611034148.2
  • 汉那慎一 - 富士胶片株式会社
  • 2016-11-16 - 2022-03-04 - G03F7/095
  • 本发明提供一种转印材料、及其制造方法,其依次具有临时支撑体、第一树脂层、和第二树脂层,第一树脂层为非水溶性,第二树脂层包含水溶性聚合物,第二树脂层含有具有包含氮原子作为环元的杂芳香环的化合物,第二树脂层中的具有包含氮原子作为环元的杂芳香环的化合物的含量相对于第二树脂层的全部固体成分为3.0质量%以上;以及一种层叠体,其具有基材、位于基材上且至少一部分中包含金属的电极图案、位于电极图案上的第二树脂层、和位于第二树脂层上的第一树脂层,第二树脂层含有具有包含氮原子作为环元的杂芳香环的化合物。
  • 一种易于分隔的CTP版材-202122242397.3
  • 范小芬;王治 - 上海宝士嘉印刷器材有限公司
  • 2021-09-16 - 2022-01-28 - G03F7/095
  • 本申请公开了一种易于分隔的CTP版材,涉及CTP版材技术领域,一种易于分隔的CTP版材,包括基材,所述基材的顶端设置有上层板,所述基材的底端设置有下砂目层,所述基材的外表面设置有密封圈,所述下砂目层的底端外表面设置有分隔垫,所述下砂目层的底端外表面设置有分隔条,所述分隔条的顶端设置有裁切槽,所述基材的顶端外表面设置有上砂目层,所述上层板与基材之间为固定连接,所述下砂目层粘接固定于基材的底端外表面,所述密封圈与基材和上层板和下砂目层之间均为固定连接。本实用新型所述的一种易于分隔的CTP版材,结构简单,使用方便,便于进行分割,提高版材的切割质量,便于版材进行放置,提高版材的使用寿命。
  • 在机显影型阴图热敏CTP版材-202110916017.1
  • 彭朝珍 - 彭朝珍
  • 2021-08-11 - 2021-11-16 - G03F7/095
  • 本发明实施例提供了一种在机显影型阴图热敏CTP版材,其特征在于,包括:版材基体;亲水层,覆盖在所述版材基体的表面;感光下层,覆盖在所述亲水层的表面,所述感光下层由第一成膜树脂、第一红外吸收剂、第一光引发剂以及第一烯键式不饱和化合物组成;感光上层,覆盖在所述感光下层的表面,所述感光上层由第二成膜树脂、第二红外吸收剂、第二光引发剂以及第二烯键式不饱和化合物组成。本发明实施例在经亲水化表面处理的基体上依次涂有感光下层和感光上层,使得该版材具有感光速度快、在机显影与水墨平衡速度快以及高耐印率等优点,并拥有良好的抗划伤和储存稳定性。
  • 水显影性柔性印刷原版-201980071216.8
  • 芳本和也;莲池准 - 东洋纺株式会社
  • 2019-09-17 - 2021-06-11 - G03F7/095
  • 本发明提供一种改善了版面防污能力持续性的柔性印刷原版。是至少包含支撑体,以及设置在所述支撑体上的感光性树脂层的水显影性柔性印刷原版,所述感光性树脂层含有水分散胶乳、光聚合性不饱和化合物、光聚合引发剂和有机硅化合物;当所述水分散胶乳是选自聚丁二烯橡胶和聚丁腈橡胶组成的群中的一个以上的胶乳橡胶时,所述有机硅化合物是分子内具有氨基的有机硅化合物,且具有1.44以上、1.60以下的折射率;当所述水分散胶乳是聚苯乙烯丁二烯橡胶时,所述有机硅化合物是分子内具有氨基的有机硅化合物,且具有1.47以上、1.63以下的折射率。
  • 干膜抗蚀剂层压体-201911144334.5
  • 朱霞月;李伟杰;周光大 - 浙江福斯特新材料研究院有限公司
  • 2019-11-20 - 2021-05-21 - G03F7/095
  • 本发明提供了一种干膜抗蚀剂层压体。该干膜抗蚀剂层压体包括支撑层、第一抗蚀剂层和第二抗蚀剂层,第一抗蚀剂层涂覆于支撑层的一侧表面上;第二抗蚀剂层涂覆于第一抗蚀剂层的远离支撑层的一侧表面上;其中,第二抗蚀剂层的曝光速度大于第一抗蚀剂层的曝光速度。将一个干膜抗蚀体分成两层叠加,吸收同一种光源同时进行不同速度的曝光,可以解决干膜厚度比较大特别是超过50um以后,抗蚀剂底部光固化弱易出现的曝光不良现象问题。因此,该干膜抗蚀剂层压体在印刷电路板、引线框架、金属精密加工、半导体封装、IC载板制作等领域中作为蚀刻或镀敷用的干膜抗蚀剂层压体材料,在图形曝光显影后,能够得到侧边形貌优良,菱角分明清晰的图案。
  • 一种耐印耐热感光材料板-201911129767.3
  • 曹秀莉;桂晨芸 - 湖北柏合药业有限公司
  • 2019-11-18 - 2021-05-18 - G03F7/095
  • 本发明公开了一种耐印耐热感光材料板,包括基板,基板的内部开设有隔热腔,隔热腔内填充氢氧化铝作为阻燃剂,基板的底面涂覆有耐磨层,耐磨层为天然橡胶,所述的基板是铝箔,在铝箔上具有电解砂层、氧化层、亲水层、感光材料层和敷面层,所述感光材料层的厚度达到2.2~2.5g/㎡,所述的感光材料层分为两层,分别是第一感光材料层和第二感光材料层,靠近铝箔的是第一感光材料层,两层感光材料层之间有一层亲水材料涂剂层,所述的亲水材料涂剂层和亲水层具有相同的结构和材料,所述的第一感光材料层的厚度大于第二感光材料层的厚度。这样的感光材料板具有耐印率高、使用成本低的优点。
  • 层叠结构体-201580055745.0
  • 宫部英和;小池直之;林亮;横山裕 - 太阳油墨制造株式会社
  • 2015-10-13 - 2020-11-03 - G03F7/095
  • 提供可满足作为柔性印刷电路板的绝缘膜的要求性能、也适于同时形成弯曲部与安装部的工艺的结构体。另外,提供具备该固化物作为保护膜、例如覆盖层或阻焊层的柔性印刷电路板。一种层叠结构体、使用其的干膜和柔性印刷电路板,该层叠结构体具有:由碱显影性树脂组合物形成的粘接层(A)、和在粘接层(A)上形成的由感光性树脂组合物形成的保护层(B),粘接层(A)与保护层(B)的膜厚的比例为A/B=0.5~50,粘接层(A)的显影速度(a)与保护层(B)的显影速度(b)的比例为a/b=1.1~100。
  • 一种可以直接剥离的LED管芯电极掩模图形的制作方法-201910085347.3
  • 徐晓强;张兆喜;吴向龙;闫宝华;王成新 - 山东浪潮华光光电子股份有限公司
  • 2019-01-29 - 2020-08-04 - G03F7/095
  • 一种可以直接剥离的LED管芯电极掩模图形的制作方法,通过在LED晶体上制备两层由负性光刻胶构成的胶膜层以及设置在第一胶膜层与第二胶膜层之间的填充层,来得到适合金属电极掩模图形的制作,第一胶膜层和第二胶膜层的厚度较薄,仅仅使用较少的光刻胶制作出了达到较厚需要的掩模图形,使得到金属电极图形在完整的前提下又可以进行直接撕金剥离,不需要作出额外处理。适当厚度的两层光刻胶和二氧化硅层的配合能够完成必须使用厚胶才能制作出的金属电极掩模图形来直接剥离的效果。第一胶膜层、填充层、第二胶膜层依次制成后再进行电极掩膜图形的制备,这样可以减少两次光刻步骤,使整个过程简单易行,成本较低。
  • 层叠结构体、柔性印刷电路板及其制造方法-201480021937.5
  • 宫部英和;林亮;横山裕;小池直之 - 太阳油墨制造株式会社
  • 2014-04-17 - 2020-02-21 - G03F7/095
  • 提供一种能够在柔性印刷电路板上形成微细的图案、绝缘性、弯曲性优异的感光性树脂结构体、和具有其固化物作为保护膜例如覆盖层或阻焊层的柔性印刷电路板。一种感光性树脂结构体,其特征在于,具有显影性粘接层(a)和显影性保护层(b),所述显影性保护层(b)介由该显影性粘接层(a)层叠在柔性印刷电路板上,至少前述显影性保护层(b)能够通过光照射而图案化,并且前述显影性粘接层(a)和前述显影性保护层(b)能够通过显影一并形成图案。
  • 卤化银导电元件前体和设备-201480074260.1
  • K.J.卢兴顿 - 伊斯曼柯达公司
  • 2014-12-12 - 2019-09-20 - G03F7/095
  • 导电膜元件前体可用于由无色亲水性光敏层中的卤化银提供导电银线。该前体具有基底,所述基底在至少一个支撑面上依次具有:包含卤化银的无色亲水性光敏层,所述卤化银的覆盖率低于5000 mg Ag/m2,和布置在所述无色亲水性光敏层上方的亲水性外涂层。该亲水性外涂层是最外层并包含卤化银,其量为至少5 mg Ag/m2并且至多并包括150 mg Ag/m2。所述亲水层可布置在所述基底的两个支撑面上以形成双重构造导电膜元件前体。在以图像方式曝光后,所得的曝光的卤化银显影并定影以在所述基底的任一或两个支撑面上提供呈导电线的银金属。
  • 层叠体-201480046127.5
  • 加持义贵;小山一郎;岩井悠;中村敦 - 富士胶片株式会社
  • 2014-08-22 - 2019-09-03 - G03F7/095
  • 本发明提供一种可在有机半导体上形成良好的图案的层叠体。本发明的层叠体在有机半导体膜的表面至少依次具有水溶性树脂膜、以及包含化学增幅型感光性树脂组合物的抗蚀剂膜,其中,化学增幅型感光性树脂组合物含有当在波长365nm时曝光100mJ/cm2以上时分解80摩尔%以上的光产酸剂,曝光部因难溶于包含有机溶剂的显影液而能够形成掩模图案,且在形成掩模图案后用作蚀刻的掩模。
  • 感光性树脂印刷版原版及印刷版的制造方法-201680050406.8
  • 河原弘幸;馆教仁;永野启 - 东丽株式会社
  • 2016-09-02 - 2019-03-26 - G03F7/095
  • 感光性树脂印刷版原版,其至少具有支承体和感光性树脂层,其中,该感光性树脂层含有(A)部分皂化聚乙酸乙烯酯化合物、(B)具有碱性氮的聚酰胺、(C)具有烯键式双键的化合物、及(D)光聚合引发剂,该感光性树脂层至少包含下层及印刷面层,上述感光性树脂印刷版原版依次具有上述支承体、上述下层及上述印刷面层,并且,作为(A)部分皂化聚乙酸乙烯酯化合物,在印刷面层中含有平均聚合度为1200~2600的部分皂化聚乙酸乙烯酯化合物(A1),在下层中含有平均聚合度为400~800的部分皂化聚乙酸乙烯酯化合物(A2)。本发明提供具有高的水显影性及雕刻渣滓的冲洗性和图像重现性、同时耐刷性也优异的感光性树脂印刷版原版。
  • 一种新型全息干板结构-201811104340.3
  • 姚招华 - 北京微美云息软件有限公司
  • 2018-09-21 - 2019-02-05 - G03F7/095
  • 本发明提出新型全息干板结构,涉及全息技术领域,包括感光乳胶层、底层、片基层及防光晕层,所述片基层为所述感光乳胶层的支撑体,所述感光乳胶层通过所述底层黏附在所述片基层上,所述防光晕层涂于所述片基层的背面。本发明干板在曝光时,背面的反射光不会产生光晕,提高影像的清晰度,减少噪音,消除附加全息图。
  • 圆锥形顶部的空心微针阵列制备方法-201410733926.1
  • 朱军 - 上海交通大学
  • 2014-12-04 - 2018-09-21 - G03F7/095
  • 一种微针制备领域的圆锥形顶部的空心微针阵列制备方法,以不同光敏剂浓度的光刻胶混合后制备单个或多个光敏剂浓度的系列光刻胶,只要在应用时满足上层光刻胶光敏性高于下层光刻胶,利用两者在曝光剂量上的差异,通过精确控制曝光剂量上层光刻胶曝光将不会对下层结构产生影响,因而复杂微针结构能够通过多次曝光一次显影获得。本发明提出的空心微针制备工艺不仅制备得到的微针结构好,工艺简单,而且微针通道在制备后通过激光打孔来实现也进一步确保空心微针阵列整体质量,具有广泛的适用性。沉积parylene等生物相容性薄膜不仅简便易行,而且从整体上提高了生物相容性;空心微针阵列与微流控芯片集成构成的微流体系统在经皮诊疗领域具有广泛的应用。
  • 图案形成方法和使用其制造的电子设备-201680009871.7
  • 村井俊彦;原宪司;入泽正福 - 株式会社ADEKA
  • 2016-02-23 - 2017-10-13 - G03F7/095
  • 本发明提供一种能够得到抗蚀膜的各层间的密合性优异、赋予高精细的图案、阻气性和耐溶剂性高的层叠体的图案形成方法以及使用其制造的电子设备。一种图案形成方法,其包括使用组合物在支承体上形成膜的工序(1);对膜的规定部分照射活性能量射线而使规定部分的显影性发生变化的曝光工序(2);将膜进行显影而得到图案的显影工序(3),作为组合物,使用对于显影液的溶解性彼此不同的多种组合物,所得图案具有多层结构。
  • 一种耐印的感光材料板-201620330776.4
  • 张朝阳 - 长葛市汇达感光材料有限公司
  • 2016-04-20 - 2016-09-14 - G03F7/095
  • 本实用新型涉及感光材料板,名称是一种耐印感光材料板,包括基板,所述的基板是铝箔,在铝箔上具有电解砂层、氧化层、亲水层、感光材料层和敷面层,所述感光材料层的厚度达到2.2~2.5g∕㎡,所述的感光材料层分为两层,分别是第一感光材料层和第二感光材料层,靠近铝箔的是第一感光材料层,两层感光材料层之间有一层亲水材料涂剂层,所述的亲水材料涂剂层和亲水层具有相同的结构和材料,所述的第一感光材料层的厚度大于第二感光材料层的厚度。这样的感光材料板具有耐印率高、使用成本低的优点。
  • 一种双层热敏平版及其制作方法-201510718501.8
  • 魏敬忠;胡永忠 - 成都华维印刷器材有限公司
  • 2015-10-29 - 2016-01-06 - G03F7/095
  • 本发明公开了一种双层热敏平版,包括上层的热敏感光层与底层的高分子聚合物层。双层热敏平版制作的具体步骤为:A3、将底层的高分子聚合物溶液稀释并涂覆在经过电解阳极氧化处理的亲水性铝版基表面;B3、将涂覆好高分子聚合物溶液的亲水性铝版基在130℃的温度环境中干燥3分钟,形成底层的高分子聚合物层;C3、将上层热敏感光层的材料荣誉乙醇溶剂中形成热敏感光溶剂;D3、在高分子聚合物层上涂上热敏感光溶液,然后将其置于温度为110℃的环境中干燥5分钟。本发明提供了一种双层热敏平版及其制作方法,结构简单合理,生产方便,其灵动性与艺术性较高,能受到广大消费者的青睐,更好的促进了企业与行业的发展壮大。
专利分类
×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top