[发明专利]一种兼具高热导率和高强度的氮化铝陶瓷及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201910081721.2 申请日: 2019-01-28
公开(公告)号: CN111484333A 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 汪小红;姜海;吕文中;范桂芬;雷文;付明;王晓川;梁飞 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: C04B35/581 分类号: C04B35/581;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/64;C04B41/00
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 曹葆青;李智
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明属于陶瓷材料技术领域,更具体的,涉及一种无压烧结高热导率高强度的氮化铝陶瓷的制备。本发明通过将无压烧结得到的氮化铝烧结体进行氧化处理制备氮化铝陶瓷,适当的氧化处理可以在氮化铝烧结体表面形成厚度适当且致密的氧化层,氧化层的形成可以增加氮化铝基体内的残余压应力,残余应力的改变有助于阻止氮化铝陶瓷内裂纹的扩展并降低氮化铝晶界的接触热阻。本发明所提供的氮化铝陶瓷,在氧化处理后可使其热导率提高至185~210W/(m·K),抗弯强度提高至390~460MPa,介电常数为9~10,介电损耗为0.8×10‑3~2.4×10‑3,可以满足半导体器件和集成电路等产业的应用要求。
搜索关键词: 一种 兼具 高热 强度 氮化 陶瓷 及其 制备 方法
【主权项】:
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