[发明专利]内嵌通道式的微悬臂梁装置、加工方法及一种检测方法在审
| 申请号： | 201910035090.0 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN109879238A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 郝秀春;蒋纬涵;汪赟;陈忠位 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01B11/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了内嵌通道式的微悬臂梁装置、加工方法及一种检测方法，属于MEMS领域。本发明中的内嵌通道式微悬臂梁与传统的微悬臂梁有所不同，是在微悬臂梁的内部形成微通道，将微流控芯片集成于微悬臂梁传感器内。此种微悬臂梁是采用一种基于SON结构的加工方法来制造的，可以同时形成微通道和盖板。同时与微流控芯片技术结合起来，可以实现微纳粒子、细胞等的分离、监测与检测。微悬臂梁总体结构包括：微悬臂梁的固定端、内嵌通道、内嵌通道的衬底和盖板，以及内嵌通道的入口和出口。本发明是一种新型的微悬臂梁，加工方法更加简洁，将微流控芯片技术与微悬臂梁传感器技术相结合，应用领域大大增加，同时检测精度也极大地提高。 | ||
| 搜索关键词： | 微悬臂梁 内嵌 微流控芯片 微悬臂梁传感器 通道式 微通道 种检测 盖板 加工 技术结合 传统的 固定端 悬臂梁 检测 衬底 粒子 细胞 监测 出口 制造 | ||
【主权项】：
1.一种内嵌通道式的微悬臂梁，其特征在于，包括固定端(102)、内嵌通道(105)、衬底(104)、盖板(103)，以及内嵌通道微流体入口(101)，所述微悬臂梁的一侧是固定端(102)，微悬臂梁的另一侧为梁，所述梁为等截面梁，或者为变截面梁；梁底部是衬底(104)，梁上端面是盖板(103)，衬底(104)和盖板(103)之间为内嵌通道(105)，内嵌通道(105)至少带有内嵌通道微流体入口(101)，所述衬底(104)、盖板(103)和固定端(102)为一体结构。
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