[发明专利]显示设备的制造方法以及制造装置有效
| 申请号： | 201880090165.9 | 申请日： | 2018-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN111771426B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 新纳厚志 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | H10K71/00 | 分类号： | H10K71/00;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 董煜晗 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的显示设备的制造方法，其特征在于，包括：在基板上成膜树脂层的工序；将树脂层被成膜的基板放入在第一腔室，并且将第一腔室内从大气压减压到第一真空压力的工序；从第一腔室向调整为第二真空压力的第二腔室搬入基板的工序；测量在第二腔室中从树脂层脱离的气体的工序；以及在测量气体之后，在第二腔室或第三腔室中在树脂层上成膜无机化合物层的工序。成膜无机化合物层的工序是在成膜之前将第二腔室或第三腔室内设为第三真空压力的工序。第二真空压力是比第三真空压力大的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 设备 制造 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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