[发明专利]等离子体发生装置和信息处理方法在审
| 申请号： | 201880086723.4 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN111602471A | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 泷川慎二 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | H05H1/36 | 分类号： | H05H1/36;H05H1/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种等离子体发生装置，在产生了装置的异常停止的情况下，能够高效地进行异常停止的原因确定。当判断为检测值的至少一个成为异常值时，控制器结束等离子体产生控制。另外，控制器根据开始等离子体产生控制这一情况而使存储部存储将检测值与时间建立对应而得到的履历。由此，由于能够提供存储于存储部的检测值的履历，因此能够高效地进行异常停止的原因确定。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 发生 装置 信息处理 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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