[发明专利]锭块的制造方法、半导体晶片的制造方法及锭块的制造装置有效
| 申请号： | 201880082329.3 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN111771018B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 斋藤康裕 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;B28D5/04;C30B33/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 杨戬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种锭块的制造方法，其切断利用提拉法提拉的单晶硅锭并进行外周磨削，从而制造单晶硅的锭块，该锭块的制造方法执行如下工序：在沿锭的长边方向的1个以上的位置，测量锭的径向中心位置的工序(S2)；设定测量出的锭的径向中心位置的偏离量为规定的偏芯量以下的基准位置的工序(S7)；根据已设定的基准位置，将锭切断成锭块的工序(S8)；及执行已切断的各锭块的外周磨削的工序(S9)。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 方法 半导体 晶片 装置 | ||
【主权项】：
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- 本实用新型公开了一种晶体生长炉加热装置，包括固定柱，所述固定柱的外表面穿插设置有把手，所述把手的另一端固定连接有第一锥齿轮，所述固定柱的内部设置有限位槽，所述限位槽的内部滑动连接有限位块，所述限位块的上表面固定连接有活动柱，所述活动柱的内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面固定连接有第二锥齿轮，启动小型电机，由于小型电机的输出端与连接柱固定连接，因此可带动连接柱转动，有连接柱与炉室固定连接，因此可带动炉室转动，同时通过加热板加热工作，通过副炉管防止炉室转动时发生偏移，从而实现了生长炉的加热设备足够精准，使用起来简单方便，有效的均匀受热。
- 一种适用于直拉法的单晶硅棒的卸料设备-202321165531.7
- 吴雄;郭元平;张智慧 - 内蒙古豪安能源科技有限公司
- 2023-05-15 - 2023-09-15 - C30B29/06
- 本实用新型公开了一种适用于直拉法的单晶硅棒的卸料设备，包括移动车体，所述旋转支撑架一侧插合安装有升降导块，其升降导块中间插合安装有第二伺服电机，且第二伺服电机一端与旋转支撑架相连接，所述升降导块与升降支撑架插合安装，且升降支撑架内壁安装有升降传动链。该适用于直拉法的单晶硅棒的卸料设备可以通过夹块和夹持垫块进行稳定抓握，并且可以通过第二伺服电机和旋转支撑架带动夹块进行旋转调节，将夹持物料横竖调节，并且可以通过第三伺服电机调节夹块的位置，方便进行稳定垂直放置，避免阻挡，使用更方便，而且夹块可以通过安装扣槽、安装扣块和第二锁紧旋钮进行插合拆装，方便更换不同的夹块，方便进行稳定适配。
- 炸棒后残留硅渣的处理方法和单晶炉-202310956068.6
- 唐涛;陈铭;龙昭钦;徐涛;林雨生;代理华 - 四川晶科能源有限公司
- 2023-07-31 - 2023-09-12 - C30B29/06
- 本发明公开了炸棒后残留硅渣的处理方法和单晶炉，该炸棒后残留硅渣的处理方法包括利用单晶炉对硅渣进行处理，单晶炉包括位于主室的导流筒和坩埚，以及位于副室的重锤，导流筒位于坩埚的上方，重锤与籽晶旋转提升机构相连接，籽晶旋转提升机构带动重锤沿竖直方向相对运动；重锤的底部连接有撞硅渣装置；包括以下步骤：在晶棒炸棒后，打开副室将剩余的晶棒吊出副室并取下；将撞硅渣装置装配于重锤上；将撞硅渣装置吊入副室，籽晶旋转提升机构通过重锤带动撞硅渣装置沿竖直方向向下运动，使得撞硅渣装置击落硅渣并掉入导流筒下方的坩埚中。通过籽晶旋转提升机构带动撞硅渣装置沿竖直方向向下运动，使得炸棒后残留的硅渣无需通过受热方式脱离导流筒。
- 一种平拉晶片生产设备及平拉晶片生产方法-202310800481.3
- 张志安;张生迪;冯正中;张志斌 - 高邮市志安科技实业有限公司
- 2023-07-03 - 2023-09-08 - C30B29/06
- 本发明涉及半导体及光伏晶片领域，具体是指一种平拉晶片生产设备及平拉晶片生产方法，平拉晶片生产设备，包括上型腔、下型腔及熔料室，所述上型腔与下型腔之间所围区域为型腔，所述型腔下部设置用于控制温度的沉集面，所述熔料室顶部与沉集面联通，所述熔料室外部设有工频加热线圈，所述熔料室内部设有可沿熔料室内壁滑动的活塞，一种平拉晶片生产方法，生产过程如下所述：单晶硅料由进料口进入熔料室内部，工频加热线圈加热熔料室，单晶硅料熔化为单晶硅溶液，压杆驱动活塞压头平稳向上挤出单晶硅溶液，使单晶硅溶液通过成型口进入型腔，安装在成型口两侧的两根钼丝环绕出型口部的拉力拉速机构控制，钼丝与单晶硅溶液在型腔内部热结合为一体。
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