[发明专利]基板处理系统、基板处理方法以及计算机存储介质有效
| 申请号： | 201880080582.5 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN111479654B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 児玉宗久 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B24B49/02 | 分类号： | B24B49/02;B24B7/04;B24B49/10;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种基板处理系统，其对在非加工面设有保护件的基板的加工面进行加工，其中，该基板处理系统具有：磨削部，其以多个工序对所述基板的加工面进行磨削；保护件厚度测量部，在利用所述磨削部对所述基板的加工面进行磨削之前，该保护件厚度测量部测量所述保护件的厚度；以及控制部，其基于利用所述保护件厚度测量部测量的保护件厚度，以利用所述磨削部对所述基板的加工面进行磨削的第1磨削处理工序之后的第2磨削处理工序中的第2磨削量在各个基板之间恒定的方式计算所述第1磨削处理工序中的第1磨削量。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 系统 方法 以及 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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