[发明专利]压力梯度泵有效
| 申请号： | 201880079969.9 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN111433459B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | M.H.R.蒂尔利;J.C.朗格贝格;M.E.达尔格蒂 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹真空泵有限责任公司 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06;F04B23/04;F04B39/12;F04B37/02;F04B37/14;H01J41/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 董均华;刘茜 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 设备（1300）包括第一泵模块（1304）、第二泵模块（1302）和密封盘（1310）。第一泵模块（1304）包括具有第一开口的第一凸缘、具有第二开口的第二凸缘（1322）和至少一个第一泵（1309）。第二泵模块（1302）包括具有第三开口的第三凸缘（1320）、具有第四开口的第四凸缘和至少一个第二泵（1306）。密封盘（1310）定位在第二凸缘（1322）和第三凸缘（1320）之间，并且与第二凸缘（1322）和第三凸缘（1320）密封接触，并且具有盘开口，所述盘开口具有的截面面积小于第二凸缘（1322）中的第二开口的截面面积，并且小于第三凸缘（1320）中的第三开口的截面面积，其中，盘开口与第一开口、第二开口、第三开口和第四开口对准。 | ||
| 搜索关键词： | 压力梯度 | ||
【主权项】：
暂无信息
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