[发明专利]微结构相界面装置在审
| 申请号： | 201880070893.3 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN111587218A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | M·米尔博克尔;L·布吕歇尔 | 申请（专利权）人： | BVW控股公司 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;C09J7/10;B29C59/00;B32B7/04;B32B3/30 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张小文;刘茜 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及抓持表面和包括该抓持表面的装置，其中抓持表面包括形状可调的表面微结构，其中微结构的高度、宽度和空间周期性对应于目标表面的Schallamach波波幅和波长的整数倍，其中，装置微结构和所引起的Schallamach波通过向装置施加应变而被夹带。 | ||
| 搜索关键词： | 微结构 界面 装置 | ||
【主权项】：
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- 一种微机械构件(100)，其具有：‑覆盖元件(10)；‑布置在所述覆盖元件(10)的下方的腔体(20)；‑至少一个垂直蚀刻通道(11)，其布置在所述覆盖元件(10)的锚固结构之外；‑至少一个横向蚀刻通道(12a...12n)，其从所述至少一个垂直蚀刻通道(11)出发设置在蚀刻停止层(3)的下方和所述腔体(20)的下方并布置在所述蚀刻停止层(3)与硅衬底(1)之间；和‑至少一个通路蚀刻通道(3a1...3an)，其构造在所述至少一个横向蚀刻通道(12a...12n)与所述腔体(20)之间。
- 一种固体表面三维纳米结构的构筑方法-201910550485.4
- 解德刚;聂志宇;单智伟 - 西安交通大学
- 2019-06-24 - 2022-05-20 - B81B1/00
- 本发明公开一种固体表面三维纳米结构的构筑方法，包括如下过程：在真空或者保护气氛中，控制针尖与基板进行纳米尺度的接触；将针尖加热至预设温度，使针尖与基板之间建立预设的温度梯度，通过针尖与基板之间的热迁移能够将针尖材料传输到基板上，控制针尖相对基板进行移动，在基板表面构建出三维纳米结构；所述针尖尖端的曲率在纳米尺度；针尖材质为制备三维纳米结构所需的材料。本发明能够实现平面外纳米结构的生长，不需要借助任何模版就能够可控的诱导制备特定结构的纳米晶体。
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