[发明专利]借助于共焦传感器进行光学的表面测量的方法和设备在审
| 申请号： | 201880057005.4 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN111065884A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | J·弗兰克;G·雅各布 | 申请（专利权）人： | 纳诺福卡斯股份公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国奥*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及借助于共焦传感器对技术表面进行光学测量的方法和设备，其中，光源(2)的光通过光学系统(5、16)对准试样的待测量的表面(8)。根据本发明，所述光学系统(5、16)包括电动地操控的适应性光学系统(7)，其中，所述光学系统(5、16)的焦点通过电信号(f(t))在Z方向上改变。使被所述试样表面(8)反射回的光转向到至少一个光电传感器(10)上，其中，借助于探测装置(11)在时间上测量所述传感器信号并且确定信号最大值的时间点。所述探测装置(11)由在所述信号最大值的时间点上的电信号推导出所述表面(8)的高度Z。 | ||
| 搜索关键词： | 借助于 传感器 进行 光学 表面 测量 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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