[发明专利]电容性微结构在审
| 申请号： | 201880049138.7 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN110944936A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | H·凯特卢斯;T·瓦哈-海基拉 | 申请（专利权）人： | 芬兰国家技术研究中心股份公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 酆迅;傅远 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种微结构(100、200、300)，包括衬底(110)，该衬底具有顶表面(111)；第一电极(120)，具有平行于衬底(110)顶表面(111)的水平定向，其中第一电极(120)被嵌入在衬底(110)内，使得第一电极(120)顶表面(121)与衬底(110)的顶表面(111)一致；电介质层(140)，被布置在第一电极(120)的顶表面(121)上；以及第二电极(130)，被布置在电介质层(140)的上方。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 微结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于芬兰国家技术研究中心股份公司，未经芬兰国家技术研究中心股份公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880049138.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：可调节的减振器
- 下一篇：用于将合成气发酵中的尾气再循环为乙醇的方法和设备
