[发明专利]双面压印在审
| 申请号： | 201880048269.3 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111201121A | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | C·J·福莱肯斯坦;R·帕特森;C·S·卡登;S·萨达姆;M·S·沙夫兰;V·辛格;M·N·米勒;K·罗;R·克里斯蒂安森 | 申请（专利权）人： | 奇跃公司 |
| 主分类号： | B29C33/42 | 分类号： | B29C33/42;B29C59/02;B29C59/16;G03F7/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 杨晓光;于静 |
| 地址： | 美国佛*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了用于双面压印的系统、装置和方法。示例系统包括：用于移动第一幅材的第一辊，第一幅材包括具有第一压印特征的第一模板；用于移动第二幅材的第二辊，第二幅材包括具有第二压印特征的第二模板；用于分配抗蚀剂的分配器；用于定位第一幅材和第二幅材上的参考标记从而使第一模板和第二模板对准的定位系统；用于固化抗蚀剂的光源，使得固化的第一抗蚀剂在基板的一侧上具有与第一压印特征相对应的第一压印的特征，并且固化的第二抗蚀剂在基板另一侧上具有与第二压印特征相对应的第二压印的特征；以及用于在第一模板和第二模板之间进给基板并从第一幅材和第二幅材卸载双压印的基板的移动系统。 | ||
| 搜索关键词： | 双面 压印 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于奇跃公司，未经奇跃公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880048269.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
