[发明专利]用于调谐多波长气体激光器的外部光学反馈元件在审
申请号: | 201880031125.7 | 申请日: | 2018-05-09 |
公开(公告)号: | CN110622372A | 公开(公告)日: | 2019-12-27 |
发明(设计)人: | J·利马诺维奇;J·贝瑟尔;R·威勒;P·克尔施 | 申请(专利权)人: | 诺万达公司 |
主分类号: | H01S3/082 | 分类号: | H01S3/082;H01S3/137;H01S3/081;H01S3/1055;H01S3/106;H01S3/223 |
代理公司: | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 陆嘉 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 用于调谐具有多个波长的气体激光器(102)的输出光束的外部光学反馈元件(108),包括位于气体激光器(102)的内部光学腔外部的输出光束(106)的光束路径上的部分反射光学元件(108),以及支撑该光学元件并调整该光学元件相对于光束路径的旋转、水平倾斜角和垂直倾斜角的平台(114)。输出光束(106)在该光学元件(108)处被部分反射,并反馈到气体激光器(102)的内部光学腔中,其强度针对多个波长而变化,并通过改变光学元件的旋转、水平倾斜角和垂直倾斜角进行调节。由此,提供了输出光束到气体激光器的内部光学腔中的可变反馈,其导致气体激光器的单线或同时多线的选择性输出波长。该设置使得可以控制商用CO | ||
搜索关键词: | 气体激光器 光学元件 输出光束 波长 光学腔 垂直倾斜角 水平倾斜角 光束路径 调谐 反射光学元件 光学反馈元件 选择性输出 反馈 激光器 可变 外部 多线 商用 单线 反射 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种外部光学反馈元件,用于调谐具有多个波长的气体激光器的输出光束,所述外部光学反馈元件包括:/n部分反射光学元件,所述部分反射光学元件位于气体激光器的内部光学腔外部的输出光束的光束路径上;和/n平台,所述平台支撑所述光学元件并调节所述光学元件相对于所述输出光束的光束路径的旋转、水平倾斜角和垂直倾斜角,/n其中,所述输出光束在所述光学元件处被部分反射,并通过所述光束路径反馈到所述气体激光器的内部光学腔中,/n反射光束的强度针对所述多个波长而不同,/n通过改变所述光学元件的旋转、水平倾斜角和垂直倾斜角来针对所述多个波长中的每个波长调节所述反射光束的强度,并且/n由此选择一波长,在该波长处,所述输出光束被反馈到所述气体激光器的内部光学腔中,从而在所选波长处增强所述气体激光器的所述输出光束。/n
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