[发明专利]电极层分区有效

专利信息
申请号: 201880013532.5 申请日: 2018-02-23
公开(公告)号: CN110366685B 公开(公告)日: 2022-05-17
发明(设计)人: A·卡斯特罗;M·汤普森;L·巴尔达萨雷;S·尼灿;H·乔哈里-加勒 申请(专利权)人: 应美盛股份有限公司
主分类号: G01P15/125 分类号: G01P15/125;G01P15/08
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 刘倜
地址: 美国加*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: MEMS传感器包括悬挂在衬底上方的检验质块。感测电极平行于检验质块位于衬底的顶表面上,并且与检验质块形成电容器。感测电极具有为MEMS传感器提供改善的性能的多个槽。通过MEMS传感器感测的测量值基于检验质块相对于开槽感测电极的移动来确定。
搜索关键词: 电极 分区
【主权项】:
1.一种用于提供对微机电系统MEMS设备上的外力的电容性感测的系统,所述系统包括:位于第一平面中的衬底;MEMS设备层的可移动部件,所述MEMS设备层耦合于所述衬底,其中所述可移动部件响应于所述外力沿着第一轴移动;以及设置在所述第一平面中的所述衬底上的感测电极,其中第一电容性感测元件在所述可移动部件和第一感测电极之间形成,其中所述第一电容性感测元件被配置为响应于所述可移动部件的沿着所述第一轴的运动,以及其中所述感测电极包括基本上在所述感测电极的两个非相邻边之间延伸的多个槽。
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  • 马志军;瞿瑞祥;李恒毅;张利昂;宋晓珂;马思远;祁源;陈福广 - 之江实验室
  • 2023-03-15 - 2023-07-07 - G01P15/125
  • 本发明公开了一种基于梯度螺旋结构的纤维式加速度传感器及应用,包括封装层、螺旋主体、引线和介电层;封装层位于纤维式加速度传感器最外侧,封装层的两侧闭合,并分别与螺旋主体的两个端点连接;螺旋主体包括基体骨架、电极层、绝缘层;引线一端与螺旋主体端点处的电极层连接,另一端穿过封装层暴露于纤维式加速度传感器外侧;介电层填充纤维式加速度传感器内的剩余空间。本发明提供的传感器在加速度下可产生电容变化,同时不受轴向拉伸和法向压力的干扰,从而实现高可靠加速度检测;对本发明传感器进行编织,可进一步得到可穿戴加速度传感织物。本发明传感器还适用于人机交互、类人机器人、智能假肢等应用场景。
  • 一种加速度计-202310275440.7
  • 严世涛;杨珊;占瞻;马昭;阚枭;李杨;陈秋玉;黎家健;彭宏韬;钟浩明;潘在祥 - 瑞声开泰科技(武汉)有限公司
  • 2023-03-16 - 2023-06-27 - G01P15/125
  • 本发明涉及一种加速度计,加速度计包括基底,基底具有锚点,其中外耦合单元呈环状,且与基底平行,第一扭转板设置在外耦合单元内侧,且和锚点连接,第一扭转板靠近锚点的一侧设置有内耦合梁,第二扭转板设置在外耦合单元的内侧,且和锚点连接,第二扭转板通过两个内耦合梁和第一扭转板连接,第二扭转板和第一扭转板相互嵌合,第一扭转板和第二扭转板沿第二方向对称,两个扭梁沿第一方向分别位于内耦合梁的两侧,第一扭转板和第二扭转板能够分别围绕扭梁转动,本发明提供的方案能够降低交叉耦合,并提高加速度计的精确度和抗干扰性。
  • 一种改进型电容式微加速度计精细化零偏补偿电路-202211598460.X
  • 徐姣;孙海荣;常玉春;汪家奇;卢宏斌;潘冲 - 大连理工大学
  • 2022-12-12 - 2023-06-23 - G01P15/125
  • 本发明涉及集成电路设计领域,尤其涉及一种改进型电容式微加速度计精细化零偏补偿电路。本发明使用n bit DAC采样量化高频激励信号后得到更小幅值的激励信号施加到单位补偿电容上,可以等效形成1/2n倍的单位补偿电容,从而能够在相同工艺下更加精细化地补偿加速度计敏感单元的零偏;在更高的零偏补偿精度相同的情况下,采用该种方法相比于采用直接级联物理电容的方法的面积更小,且该方法不受物理电容的工艺大小和失配的限制,理论能达到的补偿精度远远大于直接级联物理电容。
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