[实用新型]一种镀膜基板固定装置、镀膜腔室及镀膜设备有效
| 申请号： | 201822173322.2 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN209797782U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 刘智成;廖明墙;李明;权玉婕;杨振焘 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种镀膜基板固定装置、镀膜腔室及镀膜设备，所述镀膜基板固定装置包括：载体，所述载体用于承载所述镀膜基板，所述载体的两侧分别设置有若干个卡紧件，所述卡紧件通过连接部可转动地设置在所述载体上；所述卡紧件绕所述连接部转动时，所述卡紧件的任一端可移动至与所述镀膜基板的边缘抵接，以卡紧所述镀膜基板。本实用新型实施例能够减少镀膜基板的形变量。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜基板 卡紧件 本实用新型 固定装置 镀膜腔室 镀膜设备 可移动 可转动 形变量 抵接 卡紧 转动 承载 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜基板固定装置，其特征在于，包括：/n载体，所述载体用于承载所述镀膜基板，所述载体的两侧分别设置有若干个卡紧件，所述卡紧件通过连接部可转动地设置在所述载体上；/n所述卡紧件绕所述连接部转动时，所述卡紧件的任一端可移动至与所述镀膜基板的边缘抵接，以卡紧所述镀膜基板。/n
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