[实用新型]一种喷淋式蚀刻设备新型过滤结构有效
| 申请号： | 201822032237.4 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN209173549U | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 闫小雷;吴波涛;唐朝晖 | 申请（专利权）人： | 黄石惠晶显示科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D36/02 | 分类号： | B01D36/02;C03C15/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 435000 湖北省黄石市经*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种喷淋式蚀刻设备新型过滤结构。所述喷淋式蚀刻设备新型过滤结构包括加工箱，所述加工箱的出口处安装有第一过滤板；第一液箱，所述第一液箱与所述加工箱的出口端相互连通，且所述第一液箱的出口端安装有第二滤板；第二液箱，所述第二液箱与所述第一液箱的出口端相互连通，且所述第二液箱的出口端的安装有第三滤板；压滤机，所压滤机与所述第二液箱的出口端相互连通；过滤机构，所述过滤机构与所述压滤机的出口端相互连通，且所述过滤机构用以对压滤机排出的水再次过滤。本实用新型提供的喷淋式蚀刻设备新型过滤结构，能够对使用后的药液进行四级过滤，满足高质量产品的生产需要。 | ||
| 搜索关键词： | 液箱 出口端 过滤结构 蚀刻设备 喷淋式 压滤机 连通 过滤机构 加工箱 本实用新型 滤板 四级过滤 质量产品 过滤板 排出 过滤 出口 生产 | ||
【主权项】：
1.一种喷淋式蚀刻设备新型过滤结构，其特征在于，包括：加工箱，所述加工箱的出口处安装有第一过滤板；第一液箱，所述第一液箱与所述加工箱的出口端相互连通，且所述第一液箱的出口端安装有第二滤板；第二液箱，所述第二液箱与所述第一液箱的出口端相互连通，且所述第二液箱的出口端的安装有第三滤板；压滤机，所压滤机与所述第二液箱的出口端相互连通；过滤机构，所述过滤机构与所述压滤机的出口端相互连通，且所述过滤机构用以对压滤机排出的水再次过滤；所述过滤机构设有若干个，且每个所述过滤机构的出口均连通至所述加工箱的入口。
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