[实用新型]硅片表面除尘装置和硅片表面除尘系统有效
| 申请号： | 201821954512.1 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN209829761U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 钱海龙;费正洪 | 申请（专利权）人： | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | B08B6/00 | 分类号： | B08B6/00 |
| 代理公司： | 32278 苏州携智汇佳专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 钱伟 |
| 地址： | 224431 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种硅片表面除尘装置和硅片表面除尘系统。所述硅片表面除尘装置包括除尘组件和集尘组件，所述除尘组件包括静电吸附辊和驱动所述静电吸附辊转动的电机；所述静电吸附辊用于对硅片表面的灰尘进行吸附；所述集尘组件包括集尘管，所述集尘管的一端与所述静电吸附辊接触，用以对吸附在所述静电吸附辊表面的灰尘进行收集。本实用新型的硅片表面除尘装置通过设置具有静电环的静电吸附辊，使得硅片表面的灰尘在静电的作用下被吸附并可被集尘组件收集，进一步使得本实用新型的硅片表面除尘系统具有较佳的除尘效果和实用性，适于推广及使用。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片表面 静电吸附辊 本实用新型 除尘装置 集尘组件 吸附 除尘系统 除尘组件 集尘管 除尘效果 静电 静电环 转动 电机 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种硅片表面除尘装置，其特征在于：包括除尘组件和集尘组件，所述除尘组件包括静电吸附辊和驱动所述静电吸附辊转动的电机；所述静电吸附辊包括静电环，用于对硅片表面的灰尘进行吸附；所述集尘组件包括集尘管，所述集尘管的一端与所述静电吸附辊中的所述静电环接触，用以对吸附在所述静电吸附辊表面的灰尘进行收集。/n
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