[实用新型]利用CVD方法生长石墨烯薄膜的载具有效
| 申请号： | 201821846250.7 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN209242684U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 刘忠范;彭海琳;孙禄钊;张金灿;贾开诚;刘晓婷;李杨立志;林志威;余屹 | 申请（专利权）人： | 北京石墨烯研究院;北京大学 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种利用CVD方法生长石墨烯薄膜的载具，用于放置在CVD设备的石英管内。载具包括底座、矩形底板以及多个矩形托板。矩形底板水平地设置在底座上方，且固定连接于底座；多个矩形托板用于承载石墨烯生长衬底，每一矩形托板上表面的四周设置有多个支撑体，石墨烯生长衬底容纳于多个支撑体围成的空间，多个矩形托板可层叠地放置在矩形底板上，相邻两个矩形托板之间用支撑体隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 矩形托板 矩形底板 支撑体 载具 底座 生长 石墨烯薄膜 石墨烯 衬底 本实用新型 上表面 石英管 隔开 承载 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种利用CVD方法生长石墨烯薄膜的载具，用于放置在CVD设备的石英管内，其特征在于，包括：底座；矩形底板，水平地设置在所述底座上方，且固定连接于所述底座；多个矩形托板，用于承载石墨烯生长衬底，每一所述矩形托板上表面的四周设置有多个支撑体，所述石墨烯生长衬底容纳于多个所述支撑体围成的空间，多个所述矩形托板可层叠地放置在所述矩形底板上，相邻两个所述矩形托板之间用所述支撑体隔开。
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