[实用新型]一种还原炉底盘清洗设备有效
| 申请号： | 201821815127.9 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN209393667U | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 张瑜龙;陈喜清;李大伟;万博;梁建龙;施东辰;刘长圣 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;杜丹丹 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种还原炉底盘清洗设备，其包括激光清洗装置和与之连接的自动夹持装置；所述激光清洗装置用于在所述自动夹持装置的控制下，沿预设路径对还原炉底盘的表面进行激光清洗。本实用新型将激光清洗技术引入至多晶硅领域，通过自动夹持装置的自动化控制手段，控制激光清洗装置自动清洗还原炉底盘表面的积垢，实现了还原炉底盘表面的自动清洗，还可以清洗到以往物理清洗方法无法彻底清理的死角，解决了现有技术中存在的清洗效果不佳、清洗不彻底、引入新的污染源和浪费人力的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 还原炉底盘 激光清洗装置 自动夹持装置 本实用新型 激光清洗 清洗设备 自动清洗 清洗 自动化控制 技术引入 清洗效果 物理清洗 预设路径 多晶硅 积垢 污染源 死角 引入 | ||
【主权项】：
1.一种还原炉底盘清洗设备，其特征在于，包括激光清洗装置和与之连接的自动夹持装置；所述激光清洗装置用于在所述自动夹持装置的控制下，沿预设路径对还原炉底盘的表面进行激光清洗；所述激光清洗装置包括依次连接的激光发生装置、激光传输装置和激光清洗头；所述激光传输装置用于将所述激光发生装置产生的激光光束传导至所述激光清洗头；所述自动夹持装置用于夹持并带动所述激光清洗头在还原炉底盘的表面上方沿预设路径移动。
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