[实用新型]一种超高真空法兰密封连接装置

摘要

本实用新型公开了一种超高真空法兰密封连接装置，包括第一法兰、第二法兰、密封组件、管道组件和真空泵，第一法兰和第二法兰上下对接，第一法兰和第二法兰之间设置有密封组件，密封组件包括从内向外依次设置的第一密封圈、第一环形腔、第二密封圈、第二环形腔、第三密封圈，管道组件包括主管道、第一子管、第二子管、第一阀门和第二阀门，真空泵通过管道组件分别与第一环形腔和第二环形腔连接，用于抽真空，超高真空系统内气压为p1，第一环形腔内气压为p2，第二环形腔内气压为p3，大气压为p4，p1＜p2＜p3＜p4；本实用新型通过将大气压与超高真空系统真空负压之间的压差分阶段处理，从而提高整体的密封性。

主权项

1.一种超高真空法兰密封连接装置，其特征在于：包括第一法兰、第二法兰、密封组件、管道组件和真空泵，所述第一法兰和第二法兰上下对接，第一法兰和第二法兰之间设置有密封组件，密封组件包括从内向外依次设置的第一密封圈、第一环形腔、第二密封圈、第二环形腔、第三密封圈，管道组件包括主管道、第一子管、第二子管、第一阀门和第二阀门，主管道一端连接真空泵，主管道另一端分别与第一子管和第二子管连通，第一子管与第一环形腔连通，第二子管与第二环形腔连通，第一子管上安装有第一阀门，第二子管上安装有第二阀门，超高真空系统内气压为p1，第一环形腔内气压为p2，第二环形腔内气压为p3，大气压为p4，p1＜p2＜p3＜p4。