[实用新型]串行EEPROM芯片的检测装置中的调节定位机构有效
| 申请号： | 201821620140.9 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN209167478U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 徐四九 | 申请（专利权）人： | 嘉兴威伏半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司： | 嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙) 33265 | 代理人： | 俞培锋 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉兴市平*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种串行EEPROM芯片的检测装置中的调节定位机构，属于晶圆检测技术领域。本串行EEPROM芯片的检测装置中的调节定位机构，所述的检测装置包括具有工作台的机体，工作台上设置有承载台，其特征在于，本调节定位机构设置在工作台与承载台之间，包括固定在工作台上的横向导轨，横向导轨上滑动设置有横向滑块，横向滑块与一驱动电机一相连；所述的横向滑块上设置有纵向导轨，纵向导轨上滑动设置有纵向滑块，纵向滑块与一驱动电机二相连；所述的纵向滑块上通过周向转动轴向固定的方式设置有转轴，转轴与一驱动电机三相连，转轴的上端设置有承载台。本实用新型能够实现晶圆在工作台上的位置调节，从而使探针卡对应晶圆进行精确检测。 | ||
| 搜索关键词： | 定位机构 检测装置 串行EEPROM 横向滑块 驱动电机 纵向滑块 承载台 转轴 本实用新型 横向导轨 滑动设置 纵向导轨 芯片 工作台 晶圆 方式设置 晶圆检测 位置调节 周向转动 轴向固定 上端 探针卡 检测 | ||
【主权项】：
1.串行EEPROM芯片的检测装置中的调节定位机构，所述的检测装置包括具有工作台的机体，所述的工作台上设置有用于放置晶圆的承载台，其特征在于，本调节定位机构设置在工作台与承载台之间，包括固定在工作台上的横向导轨，横向导轨上滑动设置有能够沿着横向导轨滑动的横向滑块，所述的横向滑块与一驱动电机一相连；所述的横向滑块上设置有纵向导轨，纵向导轨上滑动设置有能够沿着纵向导轨滑动的纵向滑块，所述的纵向滑块与一驱动电机二相连；所述的纵向滑块上通过周向转动轴向固定的方式设置有转轴，所述的转轴与一能够驱动其向指定方向按指定角度旋转的驱动电机三相连，转轴的上端设置有承载台；所述的承载台上开设有呈圆形的安装槽，安装槽的底部开设有若干吸附孔，若干吸附孔均通过通道与一处于承载台侧部的吸附总管相连通，所述的吸附总管与一能够使其形成负压的吸附结构相连。
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