[实用新型]真空腔体破气装置有效
| 申请号： | 201821527059.6 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN208764670U | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 王光华;王旭 | 申请（专利权）人： | 赫得纳米科技(昆山)有限公司 |
| 主分类号： | F17D3/01 | 分类号： | F17D3/01 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 余剑琴 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了真空腔体破气装置，涉及真空设备技术领域。包括：真空腔体、与外界连通的破气通道、用于承载产品的载盘、传输导轨以及气流挡件；所述真空腔体具有与所述破气通道适配的破气通孔；所述破气通道安装在所述真空腔体的外壁、且通过所述破气通孔与所述真空腔体内部连通；所述载盘安装在所述传输导轨上，所述传输导轨设置在所述真空腔体内；所述气流挡件安装在所述真空腔体的内壁、且面向所述破气通孔形成用于遮挡所述破气通孔的挡面，且所述气流挡件与所述破气通孔之间设有距离；该真空腔体破气装置能够减轻料件的刮碰。 | ||
| 搜索关键词： | 真空腔体 气通孔 传输导轨 破气装置 气通道 挡件 真空腔 本实用新型 外界连通 真空设备 盘安装 体内部 挡面 刮碰 料件 内壁 适配 外壁 载盘 遮挡 连通 承载 体内 | ||
【主权项】：
1.真空腔体破气装置，其特征在于，包括：真空腔体、与外界连通的破气通道、用于承载产品的载盘、传输导轨以及气流挡件；所述真空腔体具有与所述破气通道适配的破气通孔；所述破气通道安装在所述真空腔体的外壁、且通过所述破气通孔与所述真空腔体内部连通；所述载盘安装在所述传输导轨上，所述传输导轨设置在所述真空腔体内；所述气流挡件安装在所述真空腔体的内壁、且面向所述破气通孔形成用于遮挡所述破气通孔的挡面，且所述气流挡件与所述破气通孔之间设有距离。
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