[实用新型]一种用于单晶炉的旋阀有效

专利信息
申请号: 201821439931.1 申请日: 2018-09-03
公开(公告)号: CN208703151U 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: 陈世斌 申请(专利权)人: 北京北方华创真空技术有限公司
主分类号: F16K3/06 分类号: F16K3/06;F16K31/12;F16K31/44
代理公司: 北京维正专利代理有限公司 11508 代理人: 罗焕清
地址: 100176 北京市大兴区北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型提供了一种用于单晶炉的旋阀,包括管道部和容纳部,所述管道部呈圆柱状,所述容纳部与所述管道部连接,所述管道部底部设置有旋盖,所述管道部的顶部敞口设置,所述管道部远离所述容纳部的一侧为半圆形的挡壁,所述容纳部为中空的矩形盒状结构,所述容纳部与所述管道部连通;所述容纳部上设置有用于控制所述旋盖打开的驱动装置,所述驱动装置包括用于控制所述旋盖升降的升降机构以及用于控制所述旋盖在水平方向上摆动的摆动机构;所述容纳部内还设置有清理装置,所述清理装置包括设置在所述容纳部内壁的圆辊,所述圆辊外包裹有清洁棉,清洁棉可以对容纳部的内壁进行清扫。在实现自动开启旋盖的同时,方便对容纳部的内壁进行清理。
搜索关键词: 管道部 容纳 旋盖 清理装置 驱动装置 单晶炉 清洁棉 内壁 旋阀 圆辊 矩形盒状结构 本实用新型 容纳部内壁 摆动机构 顶部敞口 升降机构 自动开启 圆柱状 中空的 摆动 挡壁 连通 清扫 升降
【主权项】:
1.一种用于单晶炉的旋阀,其特征在于:包括管道部(2)和容纳部(1),所述管道部(2)呈圆柱状,所述容纳部(1)与所述管道部(2)连接,所述管道部(2)底部设置有旋盖(50),所述管道部(2)的顶部敞口设置,所述管道部(2)远离所述容纳部(1)的一侧为半圆形的挡壁(21),所述容纳部(1)为中空的矩形盒状结构,所述容纳部(1)与所述管道部(2)连通;所述容纳部(1)上设置有用于控制所述旋盖(50)打开的驱动装置,所述驱动装置包括用于控制所述旋盖(50)升降的升降机构以及用于控制所述旋盖(50)在水平方向上摆动的摆动机构;所述升降机构包括设置在所述容纳部(1)上的第一气缸(30),所述第一气缸(30)的输出端连接有升降杆(31),所述升降杆(31)与所述旋盖(50)所在的平面垂直;所述升降杆(31)底端转动连接有连接轴(32),所述连接轴(32)与所述升降杆(31)同向设置,所述连接轴(32)上固定连接有摆动杆(62),所述摆动杆(62)向所述旋盖(50)的圆中心位置处延伸,并且所述摆动杆(62)与所述旋盖(50)固定连接;所述摆动机构包括第二气缸(60),所述第二气缸(60)的输出端连接有用于控制所述连接轴(32)转动的套环(61),所述套环(61)的一端与所述第二气缸(60)用销轴连接,所述套环(61)的另一端套接在所述连接轴(32)外,并且所述套环(61)与所述连接轴(32)之间设置有用于阻止所述连接轴(32)与所述套环(61)相对转动的卡接机构;所述容纳部(1)内还设置有清理装置,所述清理装置包括设置在所述容纳部(1)内壁的圆辊(71),所述圆辊(71)外包裹有清洁棉,所述容纳部(1)的内壁设置有T形槽(11),所述T形槽(11)内设置有与所述T形槽(11)滑动连接的控制杆(73),所述控制杆(73)与所述圆辊(71)固定连接。
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