[实用新型]基板液刀清洗装置有效
申请号: | 201821438618.6 | 申请日: | 2018-09-04 |
公开(公告)号: | CN209077224U | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 朴鎬胤 | 申请(专利权)人: | 威海电美世光机电有限公司 |
主分类号: | B08B1/00 | 分类号: | B08B1/00;B08B3/02 |
代理公司: | 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 | 代理人: | 宋文学 |
地址: | 264200 山东省威海*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型提供一种基板液刀清洗装置,包括液刀本体(2),所述液刀本体(2)的后端设有液刀供给口(1),所述液刀本体(2)主要由上刀体(21)和下刀体(22)构成,所述上刀体(21)和下刀体(22)之间设有出液刀口缝隙(5),所述液刀口缝隙(5)的出液口为0.6mm‑1mm,所述下刀体(22)在液刀口缝隙(5)出液口部位设置成圆滑状(6)。本实用新型的有益效果是由于采用上述技术方案,实现洗净水平稳输出,均匀喷洒在基板表面,从而不会造成水滴飞溅,解决了因水滴飞溅而对基板的后侧造成影响的问题。 | ||
搜索关键词: | 液刀 下刀体 刀口 本实用新型 清洗装置 出液口 上刀体 飞溅 水滴 基板 基板表面 均匀喷洒 对基板 供给口 洗净水 圆滑状 输出 | ||
【主权项】:
1.一种基板液刀清洗装置,包括液刀本体(2),所述液刀本体(2)的后端设有液刀供给口(1),其特征在于:所述液刀本体(2)主要由上刀体(21)和下刀体(22)构成,所述上刀体(21)和下刀体(22)之间设有出液刀口缝隙(5),所述液刀口缝隙(5)的出液口为0.6mm‑1mm,所述下刀体(22)在液刀口缝隙(5)出液口部位设置成圆滑状(6)。
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