[实用新型]反应设备有效
| 申请号： | 201821427719.3 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN208835086U | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 张军 | 申请（专利权）人： | 君泰创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0445;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 赵永辉 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种反应设备，包括：隔离组件、反应腔室以及与所述反应腔室连接的部件，所述隔离组件设置于所述反应腔室与所述部件间；其中，所述隔离组件包括：转接件，包围形成一个与所述反应腔室内部空间连通的空腔，且具有相对设置于所述空腔内壁的进气口和出气口；进气管道，与所述进气口连通，用于通过所述进气口向所述空腔吹气；抽气管道，与所述出气口连通，用于通过所述出气口从所述空腔吸气。本申请可以通过出气口与进气口之间形成的气体屏障将转接件内的空腔隔离为两部分，使反应腔室一侧的气体无法到达部件一侧，从而达到隔离保护的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 进气口 反应腔室 出气口 空腔 隔离组件 连通 反应设备 转接件 本实用新型 室内部空间 吸气 抽气管道 隔离保护 进气管道 空腔内壁 气体屏障 相对设置 反应腔 吹气 隔离 包围 申请 | ||
【主权项】：
1.一种反应设备，其特征在于，包括：隔离组件(11)、反应腔室(12)以及与所述反应腔室(12)连接的部件(14)，所述隔离组件(11)设置于所述反应腔室(12)与所述部件(14)之间；其中，所述隔离组件(11)包括：转接件(100)，包围形成一个与所述反应腔室(12)内部空间连通的空腔(110)，且具有相对设置于所述空腔(110)内壁的进气口(120)和出气口(130)；进气管道(200)，与所述进气口(120)连通，用于通过所述进气口(120)向所述空腔(110)吹气；抽气管道(300)，与所述出气口(130)连通，用于通过所述出气口(130)从所述空腔(110)吸气。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
