[实用新型]一种基于色散光谱编码的微结构形貌测量装置有效
| 申请号： | 201821425530.0 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN210242710U | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 马锁冬;孙文卿;曾春梅 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215137 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于色散光谱编码的微结构形貌测量装置。被测元件与空间光调制器在测量所采用光谱范围的中心波长下呈物像共轭；光束折转耦合器、空间光调制器、准直扩束镜头、分束器、轴向色散型显微物镜、成像耦合镜头和快照式多/高光谱成像探测器之间呈共光路结构。所提供的测量装置无需轴向机械扫描部件，借助空间光调制器、轴向色散型显微物镜和快照式多/高光谱成像探测器，从系统硬件上实现“光谱—调制度—深度”三者之间的唯一性编码，从而完成对微结构，特别是面形变化复杂、非连续的微结构元件表面微观形貌的全场非接触、高精度测量数据的快速获取，有效抑制因机械部件扫描移动引入的测量误差，提升了系统的可控性与抗干扰能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 色散 光谱 编码 微结构 形貌 测量 装置 | ||
【主权项】：
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