[实用新型]一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备有效
申请号: | 201821307429.5 | 申请日: | 2018-08-14 |
公开(公告)号: | CN208621240U | 公开(公告)日: | 2019-03-19 |
发明(设计)人: | 盛文军;胡国俊;周金文;卢安安 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
主分类号: | G01L19/00 | 分类号: | G01L19/00 |
代理公司: | 合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) 34153 | 代理人: | 王林 |
地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备,所述硅油净化腔包括净化腔体和设置在净化腔体内的加热棒,所述上料腔包括设置在上料腔内的第一闸门、第一电机、第一传送带;所述充油腔包括设置在充油腔内的第二闸门、第二电机和第二传送带;所述下料腔包括设置在下料腔内的第三闸门、第三电机、第三传送带,第四电机和第四闸门;所述真空系统包括分子泵、机械泵和对应的管道阀门;所述上料腔、充油腔、下料腔依次设置,所述机械泵和分子泵分别连通硅油净化腔、上料腔、充油腔、下料腔。本实用新型能够自动完成硅油净化、充油等一系列的工艺过程,并保证硅油净化、充灌过程中所需要的温度、真空等一系列的工艺条件,实现连续生产。 | ||
搜索关键词: | 充油腔 上料腔 硅油 传送带 闸门 电机 净化腔 下料腔 本实用新型 充油设备 充油芯体 分子泵 机械泵 扩散硅 工艺过程 工艺条件 管道阀门 净化腔体 依次设置 真空系统 自动完成 净化 加热棒 充油 料腔 连通 体内 保证 | ||
【主权项】:
1.一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备,其特征在于,包括硅油净化腔、上料腔、充油腔、下料腔和真空系统,所述硅油净化腔包括净化腔体和设置在净化腔体内的加热棒,所述上料腔包括设置在上料腔内的第一闸门、第一电机、第一传送带;所述充油腔包括设置在充油腔内的第二闸门、第二电机和第二传送带;所述下料腔包括设置在下料腔内的第三闸门、第三电机、第三传送带,第四电机和第四闸门;所述真空系统包括分子泵、机械泵和对应的管道阀门;所述上料腔、充油腔、下料腔依次设置,所述第一电机带动第一闸门开关,第二电机带动第二闸门开关,第三电机带动第三电机开关,第四电机带动第四闸门开关,所述第一闸门、第二闸门、第三闸门和第四闸门对上料腔、充油腔、下料腔进行相互隔离和连通,所述机械泵和分子泵分别连通硅油净化腔、上料腔、充油腔、下料腔。
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